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科研炉

参考价订货量

68000

≥1台

具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌其他品牌
  • 所在地青岛市
  • 更新时间2023-07-21
  • 厂商性质生产厂家
  • 入驻年限1
  • 实名认证已认证
  • 产品数量19
  • 人气值88
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青岛晨立电子有限公司成立于2009年,是专业半导体工艺设备及*材料专用设备研发、生产、销售厂家,是山东省半导体行业协会重点骨干企业,属于专精特新企业。为客户提供*材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。

主要产品:高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等,同时承接各种微电子生产线,进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。

晨立公司拥有十几年的专业研发制造经验。自成立以来,坚持产品设计和服务质量共同发展,积极进取,精益求精,不断提高产品核心竞争力。公司产品拥有自主产权。已拥有2项实用新型zhuan利,2项发明zhuan利正在申请中。有5名中、高级职称的工程师组成专业的研发团队,从事热工行业近20年之久,有丰富的生产制造经验。

公司本着和谐、共赢,以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为最终目标的企业方针,为客户提供优质的产品,优良的服务。



点击展示更多内容
炉管数1-4管 工艺管口径Φ90~360?mm?(3~12英寸) 恒温区长度760~1000?mm±1.0℃?(300~800℃)?760~1000?mm±0.5℃(800~
单点稳定性±1.0℃/24h?(300~800℃)?±0.5℃/24h?(800~1280℃) 气体控制浮子/质量流量计
科研炉实验炉应用于大规模集成电路、电力电子器件、光电子器件、半导体器件、光导纤维及太阳能电池等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺,可用于3-12英寸工艺尺寸。
科研炉 产品详情

科研炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

主要技术指标:

炉管数:14

配工艺管口径:Φ90360 mm (312英寸)

恒温区长度: 7601000 mm±1.0 (300800)  7601000 mm±0.5(8001280)

单点稳定性: ±1.0/24h (300800)    ±0.5/24h (8001280)

气源路数:  7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

气体控制:  浮子/质量流量计

悬臂舟参数: 速度:201000 mm/min    

         行程:2000 mm    

         定位精度:±1 mm    

         载荷:17 Kg

超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)

噪音:    62dBA

振动:    3μm

设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。  

晨立科研炉设备,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可替代国外同规格产品满足不同工艺的要求。




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