产品介绍：
KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式炉由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ，温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-T1200管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
应用范围：
KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD炉是一种特殊的CVD系统，广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
规格参数：
| 高温炉壳体 | 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃，内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 |
| 功率 | 2.5 KW |
| 电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
| 加热元件 | 掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其延长使用寿命） |
| 工作温度 | 1200℃ |
| 连续工作温度 | 1100℃ |
| 升温速率 | <= 20 ℃ |
| 炉管材质和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加热区长度 | 三温区：200+200+200 mm |
| 恒温区长度 | 350 (+/-1 ℃) |
| 控温系统 | PID30段程序化控温 |
| 控温精度 | +/- 1 ℃ |
| 真空密封系统 | 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），漏气率6 mtorr/min |
| 真空泵 | 采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米。 |
| 数字式真空显示计 | 数显真空计,已安装在不锈钢法兰上 |
| 混气系统 | 三个质量流量计 三路质量量程分别为 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 内部安装有一混气罐 |
| 售后服务 | 质保一年，终身保修 |
可选配件：
质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。
