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仪表网>产品库>测量/计量>表面测量仪器>轮廓仪>粗糙度测量设备
  • 粗糙度测量设备

BOKI_1000 粗糙度测量设备

参考价订货量

536000

≥1台

具体成交价以合同协议为准
  • 型号BOKI_1000
  • 品牌中图仪器
  • 所在地深圳市
  • 更新时间2023-08-11
  • 厂商性质生产厂家
  • 入驻年限4
  • 实名认证已认证
  • 产品数量1342
  • 人气值145577
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深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。


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中图仪器坚持以技术创新为发展基础,拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队,历经20年的技术积累和发展实践,研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备,能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。


中图仪器的销售和服务网点遍及全国三十多个省、市、自治区,产品远销欧、美、东南亚等海外市场,坚持为客户提供高质量产品和服务。


中图仪器还将继续专注于精密测量检测技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新,为中国制造技术的快速发展贡献力量!

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产地国产 加工定制
Bump是一种金属凸点,从倒装焊FlipChip出现就开始普遍应用,Bump的形状有多种,最常见的为球状和柱状,也有块状等其他形状,下图所示为各种类型的Bump。粗糙度测量设备
粗糙度测量设备 产品详情

粗糙度测量设备应用

在半导体行业中,BumpRDLTSVWafer合称先进封装的四要素其中Bump起着界面互联和应力缓冲的作用

Bump是一种金属凸点,从倒装焊FlipChip出现就开始普遍应用,Bump的形状有多种,最常见的为球状和柱状,也有块状等其他形状,下图所示为各种类型的Bump

Bump起着界面之间的电气互联和应力缓冲的作用,从Bondwire工艺发展到FlipChip工艺的过程中,Bump起到了至关重要的作用。随着工艺技术的发展,Bump的尺寸也变得越来越小,从最初 Standard FlipChip的100um发展到现在最小的5um
伴随着工艺技术的高速发展,对于Bump的量测要求也不断提高,需要把控长宽尺寸,高度均匀性,亚纳米级粗糙度、三维形貌等指标。
以粗糙度指标为例,电镀工艺后的Cu 凸点表面粗糙并存在一定的高度差,所以键合前需要对其表面进行平坦化处理,如化学机械抛光(CMP),使得键合时Cu 表面能够充分接触实现原子扩散由此可见把控Bump表面粗糙度是必*过程。
为了贴合工艺制程,积极响应客户Bump 计量需求,中图仪器以高精度、多功能合一等优势将自研量测设备推向众多优质半导体客户。BOKI_1000系统支持键合、减薄、翘曲和切割后的基板,可以为包括切割后、预键合、铜焊盘图案化、铜柱、凸块Bump、硅通孔(TSV)和再分布层(RDL)在内的特征提供优异的量测能力。
图片
以上为量测Bump时的实时图像

粗糙度测量设备详情请联系我们,更多动态请关注微信公众号!

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