一、产品概述
西安气体流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)和气体流量控制器(Mass Flow Controleiig写为MFC)用 于对微小气体的流量进行精密测量和控制。是结合微机电系统(MEMS)流量传感芯片技术和计算机自适应 技术历经多年,开发出的智能化全电子式气体流量仪表。主要技术性能处于国际..水平，具有高灵敏 度、高精度、大量程比等特点：针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计：且具有多种信号 输岀，能通过通讯接口实现网络管理功能：本产品在性能' 安装、维护方面也具有其的*性。可广 泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。典型特点如下：
-采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸缩小到 了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。
-在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比(范围度)大大提高。
-传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。
・结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性好，实现了计量准确可靠。
-技术进步带来的结构简化，使流量计较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，极大地降低了 能源消耗。
-微功耗设计，采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便。
-产品融合了电磁兼容设计技术，具有更高抗力。
-流量计带有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。
二、典型应用
气体流量计/流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量。它在多个领域的科研和生产中有着重要而
广泛的应用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅
射、离子注入，以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、
混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其
它各种类型的分析仪器。
微机电系统(MEMS)芯片传感技术，是在硅芯片上集成了具有 机械和电子特征的微米级传感器.它并不是简单地将机械和电子 功能微缩在芯片上，而是采用了现代材料制作技术与大规模集成 电路技术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可获得某些 宏观机电器件所不能达到的功效.同时采用了多传感器和微热源 技术，使其具备了优良的稳定性、响应时间短和超大量程等特 点。OPEC-MFM系列气体质量流呈计主要由电源模块、MEMS流 量传感芯片、信号处理模块、A/D转换模块、EEPROM存储器、 RTC实时时钟模块以及显示模块组成.见右图(图1).
OPEC-MFC由流量传感器、分流器通道、流量控制电磁调节 阀和放大控制电路等部件组成。
OPEC-MFC利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布。
该产品利用流体流动传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导效应而制成，采用毛细管传热温差 量热法原理测量气体的质量流量，可以在一定范围不受温度压力的影响。将传感器测得的流量检测信号进 行放大。然后与设定的流量电压信号进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通 道的实际流量使之与设定的流量期望值相等。分流器在主通道和毛细管间产生稳定的层流状态，用以调整。
2、产品安装
本产品推荐为水平安装.基座上的箭头标记方向为介质流向.介质进出端口连接必须正确，进口需装高 效过滤器。
安装步骤如下：
Q)取出流量计后检査其外表,确定无损伤；
(2) 连接并清洁管道；
(3) 将流量计安装到管道上，并注意如下事项；
① 为了保证流量计的计量准确性，安装时要先连接流量计的上游端，上游直管段应满足10DN的.低要
求，下游直管段应满 足5DN的.低要求。
② 流量计安装时不能有任何密封物质渗入管道内.
(4) 连接电源电缆线，需要注意接线时的极性，确保输入的直流电压在(5~12)VDC ；
(5) 如需要连接信号线，应保障信号线与相应用户界面端连接无误；
(6) 接通电源.液晶屏显示正确；
(7) 开启管道上下游的阀门，流量计开始计量管道中的气体流量。
