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磁控溅射脉冲电源

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  • 更新时间2023-09-18
  • 厂商性质其他
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陕西蓝海电气有限公司成立于2007年,是一家专业从事电源研发生产的技术型企业,产品涵盖稳压电源、变频电源、特种电源、高压电源、逆变电源、不间断电源(UPS电源)、静止变流器、高低压配电柜、充电机、 照明电器、变压器、机载天线、航空地面检测设备、航空惯导设备、航空机载设备、非标机载设备、电子设备、通讯设备(不含广播地面接收设施)、非标机电设备的生产与销售;工业自动控制及数据处理系统、自动化仪器仪表及测试系统、电力自动化设备、楼宇自动化设备工程的开发、设计、安装、施工与技术咨询、技术服务的;公司以西安各大高校和科研院所为技术依托,以诚实守信、高效专业的经营理念竭诚为广大客户服务。产品在工业自动化控制、楼宇自动化、电子仪器仪表、电力、通讯、铁路、航空航天、科研院所、太阳能和风力发电、产品等诸多行业均有广泛的应用。 公司以生产电源系列产品为主、兼有工业自动化控制和自动化测试设备等百余个品种;其中 AC/AC变频电源、DC/AC静变电源、AC/DC和DC/DC开关电源产品作为公司的支柱产品,具有功率密度高、波形品质高、纹波小、转换效率高、电磁兼容性好、结构合理、性能稳定等诸多良好品质。个别种类的产品与国外公司的同类产品相比,部分性能优于国外产品。 公司在产品研发方面,坚持自主研发与横向联合相结合,积极同各大高校和科研院所展开技术合作与交流,不断引进、吸收技术。在质量管理方面,建立了完善的生产和售后服务质量保证体系。公司依托自身精练的机构、*的管理理念、有效的内部激励机制,使产品质量在生产过程中得到了保证。 公司始终以客户和员工为关注焦点,以质量求生存,以技术创新求发展为经营理念,并以满足客户的特殊要求为目的。公司秉承生产企业的优良传统,致力于高品质、高可靠性的产品研发生产。 全体员工以“敬业、严谨、缜密、求精”的工作作风,以良好的产品质量、售后服务和合理的价格来满足广大用户的不同需求。
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随着科学技术不断地发展,磁控溅射技术也得到了快速的发展,但在磁控溅射过程中,关键部分是脉冲磁控溅射电源,目前,脉冲磁控溅射电源向大功率、高频化方向发展,由于开关电源的高频化使得开关电源的损耗增加,因此,我公司设计生产的大功率磁控溅射脉冲电源采用了移相式软开关技术,大大降低了电源的开关损耗,提高了电源的效率,利用输出电流保护点设置的方法,是输出电流任意调节,实现了快速反应的过流保护。
磁控溅射脉冲电源 产品详情
    产品名称:磁控溅射脉冲电源

    产品型号:BIPS-50001.2E

     

          随着科学技术不断地发展,磁控溅射技术也得到了快速的发展,但在磁控溅射过程中,关键部分是脉冲磁控溅射电源,目前,脉冲磁控溅射电源

    向大功率、高频化方向发展,由于开关电源的高频化使得开关电源的损耗增加,因此,我公司设计生产的大功率磁控溅射脉冲电源采用了移相式软开

    关技术,大大降低了电源的开关损耗,提高了电源的效率,利用输出电流保护点设置的方法,是输出电流任意调节,实现了快速反应的过流保护。高

    效和完善的保护措施是电源能长期可靠的运行保证,电源控制采用数字化设计,实现电源的本地控制和上位机智能化控制的目的。

          电源采用脉冲单元叠加技术,将5组相互独立的单元模块串联起来,采用同步驱动技术,实现了5kV 的高压脉冲输出。可通过增减脉冲单元的数量,满足

    不同输出电压的需要,实现了模块化设计。

          该系列电源的指标为:
          脉冲电压幅值500V~5kV ,脉冲频率500Hz~50kHz ,脉冲占空比5%~90% ,脉冲电流幅值10~200A ,脉冲功率5~50kW。
    1、单极性脉冲磁控溅射电源是在直流磁控溅射电源基础上增加单极性正脉斩波电路组合而成,消除了由于直流反应溅射出现的靶的污染、阳极

         消失、极间打火等问题。

    2、该电源除具有直流磁控溅射电源的优点外,能明显改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数,提高膜层质量,适用于金属、合金

         及石墨等靶材镀制纯金属膜,碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明显性改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数,提高

         膜层质量。

    3、输出电压为单极性脉冲,具有平均电流稳流功能。

    4、该电源由多个相对独立的单元叠加而成,具有可靠性高、扩展性好等特点。
    1、 型号:BIPS-50001.2E;

    2、 额定功率:6kW;

    3、 额定输入电压:3 AC380V±10%, 50Hz ;

    4、 输出方式:脉冲;

    5、 输出频率:5~20kHz ;

    6、 脉冲电压幅值:1000~5000V(峰值);

    7、 平均电流:0~1.2A;

    8、 输出脉冲周期:50~200uS;

    9、 脉冲占空比:10~50% ;

    10、冷却方式:风冷;

    11、外形尺寸:435mm×264mm×554mm(宽×高×深);

    12、保护功能:具有过流、过压、过热等保护措施;

    13、液晶屏的智能控制系统,任意设定输出脉冲电压幅值、脉冲周期时间及脉冲频率,以及各种工艺参数,具有在线可编程功能。
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