莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空，具有操作简单，可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后，可以实现低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。
莱宝真空是世界上涡轮分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功应用于许多场合。
工作原理
涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，快速旋转的叶片将动量传输给气体分子，将起初无方向性的热运动变成有定向运动。
涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。
在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的压强时，气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米)，分子主要与转子叶片碰撞，所以
抽气过程非常高效。
在粘滞流范围，也就是压强超过10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情况则不同，分子间的频繁碰撞降低了转子的效率。因此，涡轮分子泵无法在大气压下工作，需要适当抽速的前级真空泵。
为了使气体分子产生定向运动，转子叶片的末端的线速度必须足够大。所以，转子也要有相应的高转速。对于莱宝真空的涡轮分子泵而言，较大直径转子（例如 TURBOVAC 1000 ，大约20cm(7.87in.)）的转速大约为36000rpm，而较小直径转子（例如TURBOVAC50，大约6cm(2.36in.)）的转速为72000rpm。
分子泵设计理念
莱宝真空针对不同应用提供基于不同轴承和转子技术的涡轮分子泵。如TURBOVAC系列机械轴承标准分子泵；TURBOVAC MAG系列磁悬浮轴承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵仅在排气端配置脂润滑轴承，高真空端配置免维护的永磁轴承）。莱宝真空的分子泵均不采用油润滑轴承可以从理论上避免分子泵对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所有分子泵均可以任意角度安装。
莱宝TURBOVAC i 分子泵剖面图
TURBOVAC i/iX系列
TURBOVAC i/iX系列分子泵是莱宝真空采用全新的设计理念研发的全新一代分子泵。该系列产品为客户提供真空的性能和较高的系统集成度。
TURBOVAC i/iX系列分子泵创新的轴承设计地克服了分子泵轴承设计的瓶颈，同时满足了轴承无油和现场更换这两大设计难点，实现了一代的技术水平。
TURBOVAC i/iX系列分子泵适合分析仪器、科研和普通工业应用
TURBOVAC产品线的优势是：
- 无油，可以实现清洁的高真空和超高真空条件
- 运行高度可靠
- 耐辐射
- 设计紧凑
TURBOVAC i/iX产品线的优势是：
- 款无油半磁浮分子泵
- 模块化设计
- 抽速大，压比高
- 免维护
- 清洁无油
陶瓷滚珠轴承技术
所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滚珠轴承，轴承终生脂润滑。
陶瓷滚珠较钢滚珠更轻、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滚珠，座圈的磨损明显降低。延长轴承和分子泵的寿命延长。
装有脂润滑的陶瓷滚珠轴承TURBOVAC泵可以任意方向安装。由于滚珠轴承采用封装工艺，所以即使分子倒置安装，油脂也不可能进入高真空区域。
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
TURBOVAC i/iX产品线的优势是：
- 款无油半磁浮分子泵
- 模块化设计
- 抽速大，压比高
- 免维护
- 清洁无油
陶瓷滚珠轴承技术
所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滚珠轴承，轴承终生脂润滑。陶瓷滚珠较钢滚珠更轻、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滚珠，座圈的磨损明显降低。延长轴承和分子泵的寿命延长。装有脂润滑的陶瓷滚珠轴TURBOVAC
泵可以任意方向安装。由于滚珠轴承采用封装工艺，所以即使分子倒置安装，油脂也不可能进入高真空区域。
技术特点
TURBOVAC i
- 集成变频器，24/48V DC 电源供电
- 切削成型转子和全新复合级设计使分
子泵具有超佳性能和较大抽速，对轻
质气体尤为突出
- 任意方向安装
- 的可靠性源于创新的轴承设计理
念
- 设计灵活，适应性强
- 市场上一款无油半磁浮分子泵
- 现场维护（更换轴承），维修成本低，
时间短
- 通讯接口齐全（标配USB，RS485和
15针数字I/O）
TURBOVAC iX
- 集成真空系统控制器配置灵活的通讯
接口和附件控制接口（用于控制冷却
单元，阀门，规管和前级泵等）
- 附件齐全，即插即用
- 适应性强，适合各类真空工艺
TURBOVAC T i, T iX
- 标准分子泵（不含复合级）
- 带气载能力强
- 耐粉尘
- 启动时间短
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典型应用
- 分析仪器/科研
- 质谱仪
- 电子显微镜
- 表面分析仪
- 加速器和同步加速器
- X射线分析仪
- 实验室镀膜系统
- MBE
- 超高真空系统
- 生命科学
- 放射医疗
- 伽马射线灭菌
- 高品质植入物生产
- 工业和镀膜应用
- PVD镀膜设备
- 光学镀膜设备
- CD/DVD/蓝光光碟生产
- 薄膜太阳能
- 进样室/转移室/传输室
- 电子束焊机
- 检漏/真空绝热
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技术参数 TURBOVAC
350i/ix 450i/ix T350i/ix T450i/ix
进气口法兰 | DN | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K |
100 CF | 160 CF | 100 CF | 160 CF | ||
前级法兰 | DN | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF |
抽速 | |||||
N2 | I x s-1 | 290 | 430 | 290 | 430 |
Ar | I x s-1 | 260 | 400 | 260 | 400 |
He | I x s-1 | 360 | 440 | 360 | 440 |
H2 | I x s-1 | 350 | 420 | 320 | 400 |
气载量 | |||||
N2 | mbar x I x s-1 | 4 5 | 4 5 | 11 5 | 11 5 |
Ar | mbar x I x s-1 | 2 0 | 2 0 | 6 0 | 6 0 |
He | mbar x I x s-1 | 8 0 | 8 0 | 20 0 | 20 0 |
H2 | mbar x I x s-1 | 8 0 | 8 0 | 20 0 | 20 0 |
压缩比 | |||||
N2 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1010 | 1 x 1010 | |
Ar | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | |
He | 1 x 108 | 1 x 108 | 1 x 106 | 1 x 106 | |
H2 | 1 x 106 | 1 x 106 | 1 x 104 | 1 x 104 | |
极限压强 | |||||
(双级旋片泵做前级) | |||||
ISO-K / CF | mbar | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 |
前级耐压 | |||||
N2 | mbar (Torr) | 10 0 (7 5) | 10 0 (7 5) | 0 5 (0 375) | 0 5 (0 375) |
推荐的前级泵 | |||||
TRIVAC | D 4 B | D 4 B | D 16 B | D 16 B | |
SCROLLVAC | SC 5 D / 15 D | SC 5 D / 15 D | SC 15 D / 30 D | SC 15 D / 30 D | |
DIVAC | 3 8 HV3 | 3 8 HV3 | – | – | |
转速 | min-1 (rpm) | 60 000 | 60 000 | 60 000 | 60 000 |
转速调节范围 | % | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至100 |
加速时间约 | min | 5 5 | 5 5 | 3 5 | 3 5 |
环境温度要求 | |||||
运行 | °C | +5 至 +45 | +5 至 +45 | +5 至 +45 | +5 至 +45 |
(°F) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | |
储存 | °C | -15 至 -70 | -15 至 -70 | -15 至 -70 | -15 至 -70 |
(°F) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | |
冷却方式 | |||||
标配 | 对流 | 对流 | 对流 | 对流 | |
可选 | 风冷或水冷 | 风冷或水冷 | 风冷或水冷 | 风冷或水冷 | |
水冷接口 | |||||
6 x 1软管接头 | 6 x 1软管接头 | 6 x 1软管接头 | 6 x 1软管接头 | ||
或1/8”管螺纹 | 或1/8”管螺纹 | 或1/8”管螺纹 | 或1/8”管螺纹 | ||
冷却水流量 | l/h | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 |
冷却水压力要求(g) | 3 至 6 | 3 至 6 | 3 至 6 | 3 至 6 | |
冷却水温度要求 | °C | +15 至 +35 | +15 至 +35 | +15 至 +35 | +15 至 +35 |
(°F) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) | |
噪声 | |||||
对流冷却 | db(A) | < 44 | < 44 | < 44 | < 44 |
带径向冷却风扇 | db(A) | < 47 | < 47 | < 47 | < 47 |
带轴向冷却风扇 | db(A) | < 49 | < 49 | < 49 | < 49 |
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TURBOVAC | 350 i | T 350 i | 450 i | T 450 i |
RS 485, USB+, 15-针 I/O 接口 | ||||
高真空法兰 | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
产品号 | 830051V1000 | 830050V1000 | 830071V1000 | 830070V1000 |
高真空法兰 | 100 CF | 100 CF | 160 CF | 160 CF |
产品号 | 830061V1000 | 830060V1000 | 830081V1000 | 830080V1000 |
可选接口(RS 232, Profibus), USB+, 15-针 I/O 接口 : 根据需求选择 | ||||
TURBOVAC | 350 iX | T 350 iX | 450 iX | T 450 iX |
USB+, 15-针 I/O 接口 | ||||
高真空法兰 | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
产品号 | 830051V3000 | 830050V3000 | 830071V3000 | 830070V3000 |
高真空法兰 | 100 CF | 100 CF | 160 CF | 160 CF |
产品号 | 830061V3000 | 830060V3000 | 830081V3000 | 830080V3000 |
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