1905年，法国工程师 Leon Creux 发明了涡旋压缩机，而今涡旋泵被用作无油真空泵。每台涡旋泵都由两个阿基米德螺旋件构成，这两个螺旋件彼此相对并错开180°，因此形成了若干个大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驱动的设计，运动螺旋件相对于固定螺旋件是按确定轨道旋转，从而缩小了凹槽容积并将气体从外朝内挤压，实现抽气功能。保持精确的制造公差并选择合适材料对于涡旋泵质量十分重要。
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1905年，法国工程师 Leon Creux 发明了涡旋压缩机，而今涡旋泵被用作无油真空泵。每台涡旋泵都由两个阿基米德螺旋件构成，这两个螺旋件彼此相对并错开180°，因此形成了若干个大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驱动的设计，运动螺旋件相对于固定螺旋件是按确定轨道旋转，从而缩小了凹槽容积并将气体从外朝内挤压，实现抽气功能。保持精确的制造公差并选择合适材料对于涡旋泵质量十分重要。
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