| V10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，V10FC也同样适用。 | ||
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| 产品特点 |
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| 技术指标 | V10FC-RC质量流量控制器 | V10FC-RM质量流量控制器 |
| 量程范围 | 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM | |
| 控制范围 | 控制器20：1 | 流量计20：1 |
| 准 确 度 | 流量：±3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：±1℃ | |
| 线 性 | ±0.5%F.S | |
| 重复精度 | ±0.2%F.S | |
| 响应时间 | 100ms | 10ms |
| 数 字 量 | RS232/485，MODBUS协议 | |
| 模 拟 量 | 0～5V、4～20mA、1～5V | |
| 供电 | 12V/24V/±15V可选 | |
| 工作温度 | 0～50℃ | |
| 工作压力 | 工作压差：0.03～0.5MPa | 工作压降：<0.01Mpa |
| *大耐压 | 低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa | |
| 电气连接 | DB15孔 | |
| 漏 率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 温度系数 | ±0.015%F.S/℃ | |
| 底座材质 | 316L | |
| 密封材料 | 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶 | |
| 接 头 | VCR1/4;swagelokφ6 | |
