微调阀系统 GW-J200-T
有刻度的微调阀门并联在真空泵的抽气管路上,可以辅助调整腔体内的真空度,非常适用于低压CVD实验。
微调阀系统 | GW-J200-T |
接口 | KF10 |
直径 | 38mm |
调节范围 | 1.3*10-1-26700(Pa) |
适用范围 | 105-1.3*10-2(Pa) |
阀门漏率 | ﹤1.3*10-6Pa.L/S |
介质温度 | -25-+80℃ |