产品特色
● 准确。流量校准具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
● 高效。只要您打开62Q系列便携式高压气体质量流量计,便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
● 耐用。62Q系列便携式高压气体质量流量计专为方便携带而设计,而且能够抵抗坠落带来的影响。
精度升级
量程为10 SCCM - 3000 SLPM,
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指标升级:
质量流量普通精度 ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程(取值)
测量范围 0.1 ~ 99%满量程
重复性 ± 0.1%满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃温差
± 0.01%满量程/ Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃温差
± 0.1 %读 数/ Atm压力差
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体,请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体,用户可现场选择
量 程 从0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM()
测量范围 2~99%满量程
显示流量 128%满量程
显 示 屏 带按键背光开关,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± 2 % 满量程 精度升级见上段
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%额外误差
重 复 性 ± 0.2%满量程
质量流量温度漂移 0.02%满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃
质量流量压力漂移 ±(0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程)当压力从标定压力起,每变化1bar
响应时间 优于10 ms
预热时间 < 1 s
标定工况 25℃ & 1 Atm(可现场在测量范围内随意更改)
工作温度 -10 ~ 60 ℃(可选低温选项)
温度精度 ± 0.75℃
充电温度 0 ~ 45 ℃
工作湿度 0 ~ 95 %,无冷凝
工作压力 2MPa表压,进出口允许瞬时压差500 KPa
操作压力 80 KPa绝压
压力精度 ±0.5%读数(读数>1 Atm),或±0.07 PSIA(<1Atm)
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输出信号 Micro-USB B(40 Hz at 19200 baud)
供电电压 5 VDC (Micro - USB - B)
电气接口 Micro-USB-B
泄漏率(外漏) 选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
续航时间 黑白屏 18小时,彩屏 5小时
材 质 303 & 302 不锈钢, Viton®,硅橡胶,增强型玻璃,热固性环氧树脂,铝,硅,金,玻璃。(可选主体铝材质)
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA (可选)