产品特色
数字化产品
带气动截止阀，泄漏率低
多参数显示和输出：温度、压力、流量等
多参数控制:体积流量、质量流量和压力
标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
可选高精度：可优于0.5%
量程比 200:1
响应时间快 仅需100ms(可调)
内置98种气体
现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 200：1
显示流量 102.4%FS
显示屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程
高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
阀门泄漏率 不超过1x10 atm scc/sec (He)
重复性 ± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
响应时间 100ms（可调）预热时间：<1s
标定工况：25℃ & 100kPa 绝压、20℃ & 100kPa 绝压、0℃ & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ℃
工作湿度：0-99%，无冷凝
标准工作压力 1MPa 表压
标准极限耐压 1.2MPa 表压
中压选项 2MPa
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压 7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流 250mA ～ 750mA
电气接口 8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材质 316L,303&302不锈钢,Viton,硅胶RTV，玻璃增强尼龙
铝 ,黄铜,430FR 不锈钢, 硅，玻璃, PCTFE
安装方式 对位置无要求 防护等级：IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们
