LP-IM200皮米级干涉位移传感器特点:
(1)、皮米级分辨率(1 pm)
(2)、测量带宽高达2.5 MHz (10 MHz采样率)
(3)、可通过3个平行激光进行三维测量
(4)、可以测量大多数材料(塑料,玻璃,金属,甚至水)
(5)、广泛的传感器头可用于不同的应用和环境(包括真空和低温)
(6)、可扩展到一个完整的实验室测量和控制仪器与可选模块
LP-IM200皮米级干涉位移传感器应用领域:
工业制造、生命科学、科学与基础研究
LP-IM200皮米级干涉位移传感器技术规格:
LP-IM200皮米级干涉位移传感器测量原理:
基于迈克尔逊干涉仪,这是一种测量位移和振动的精确方法。迈克耳孙干涉仪由波长稳定激光器、分束器、目标和参考镜组成。在分束器上,激光器发出的光被分成两条臂。一臂指向目标表面,另一臂指向参考镜。两臂的光分别被目标面和参考镜反射后,又返回到分束器。在这里,两臂重组和干涉发生。干扰信号包含目标表面相对于参考镜的位移信息。