主要特点
该款设备主要针对一些高真空退火，快速升温炉(RTP)，高压烧结，快速淬火，正压CVD，电极测试等功能，其设计滑轨可以在高温时直接滑出炉管，从而可以实现快速降温。也可以将炉膛内加热到目标温度，快速将炉管推入炉膛内，可以实现每秒50度的升温，可以作为快速升温炉使用，该款设备可以一机多用，可以更换炉管材质，如石英管，特种钢管，莫来石管等，是材料实验室处理的产品。
技术参数
| 额定功率 | KW | 3 | ||||
| 额定电压 | V | AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz | ||||
| 温度 | ℃ | 1100℃（合金钢耐压管），石英管可以到1200℃ | ||||
| 额定温度 | ℃ | ≤1050℃（合金钢耐压管），石英管可以到≤1150℃ | ||||
| 压力 | MPa | 10Mpa（合金钢耐压管） | ||||
| 真空度 | Pa | 1×10-4Pa（配分子泵系统），机械泵 1pa | ||||
| 升温速率 | ℃/S | 30℃/S（100-1000℃） | ||||
| 降温速率 | ℃/S | 10℃/S（1000-200℃） | ||||
| 加热元件 | | 电阻丝(进口康泰尔电阻丝) | ||||
| 炉管尺寸 | mm | 不锈钢密封管Φ60×510mm、Φ20×510mm（可定制） | ||||
| 加热区长度 | mm | 350 | ||||
| 恒温区长度 | mm | 200 | ||||
| 可移动范围 | mm | 550 | ||||
| 控温方式 | | 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 | ||||
| 控温精度 | ℃ | ±1 | ||||
| 法兰 | 法兰冷却方式：内水冷循环铠装法兰（配合金钢耐压管） 法兰密封方式：贝意克卡箍法兰（风冷）
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| 标准配件 | 不锈钢密封管1根，CF法兰1套，无氧铜密封圈1套，高温手套1副，坩埚钩1支 | |||||
| 认证标准 |  CE认证 | |||||
| 尺寸 | mm | 1190×383×580mm | ||||
| 包装尺寸 | mm | 1240×430×630（木箱包装） | ||||
| 净重 | Kg | 75 | ||||
| 毛重 | Kg | 110 | ||||
