产品型号 CS200-A型 产品类型 高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰 流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm 产品精度 ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) 重复精度 ±0.2% FS 线性 ±0.5% F.S. 响应时间 ≤1sec 工作温度范围 (5~45)°C 耐压 3MPa 密封材料 氟橡胶Viton 输入输出信号 (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus 电源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC 阀类型 常开(流量量程≤30slm)或常闭 温度系数 Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ 零点飘移指标 ＜0.6%F.S. per year without autozero 电气连接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male 工作压差范围 (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.） 漏率 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） 标准接头形式 双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4” 表面化学成分 - 无 - 表面粗糙度 25μinch 抗电磁干扰 CE 重量 1Kg
