石英材质衍射相位光栅，线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm
光学相位光栅通过光刻技术制造，有很多种分类，应用也相当广泛，主要应用的还是用于衍射分光和脉冲压缩。维尔克斯光电生产的本款光栅为相位光栅，即利用光的干涉来分光的衍射光栅，分为反射型或投射性，入射面为平面，线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm
位相光栅规格型号表：（光栅的销售方式一般为定制，起订量10片，更多详情，请联系我们。）
| 产品型号 | 周期 | 线宽 | 线对数 | 光栅方向 | 外形尺寸 | 厚度 | 材质 | 设计中心波长 | 位相深度 |
| MGGP-001 | 50.0μm | 25.0μm | 20 | 平行于边 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.65μm | 0.712μm |
| MGGP-002 | 50.0μm | 25.0μm | 20 | 平行于边 | 20×20 | 1 | 石英 | 0.65μm | 0.712μm |
| MGGP-003 | 50.0μm | 25.0μm | 20 | 平行于边 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.808μm | 0.891μm |
| MGGP-004 | 50.0μm | 25.0μm | 20 | 平行于边 | 20×20 | 1 | 石英 | 0.808μm | 0.891μm |
| MGGP-005 | 25.0μm | 12.5μm | 40 | 平行于边 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.98μm | 1.087μm |
| MGGP-006 | 10.0μm | 5.0μm | 100 | 平行于边 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.98μm | 1.087μm |
| MGGP-007 | 100.0μm | 50.0μm | 10 | 平行于边 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.65μm | 0.712μm |
| MGGP-008 | 100.0μm | 50.0μm | 10 | 平行于边 | 20×20 | 1 | 石英 | 0.65μm | 0.712μm |
衍射光栅的种类很多，分为振幅光栅和相位光栅，还可分为反射光栅和透射光栅，平面光栅和凹面光栅等。此文讲述的光学光栅是反射/透射型，锯齿型/台阶型相位光栅，具有精度高，应用广以及可定制等特点。
位相光栅，英文名Phase Grating，是一种利用光的干涉来分光的光学元件，当光波通过光栅后，振幅并没有变化，但是相位有周期性的变化，从而改变光栅的衍射。其中，透射光栅是相位光栅中的一个分类，通常用于激光束分离和可见光多波长激光光谱分离，而且透射光束会衍射成多个不同级次。衍射相位光栅主要是分光，是通过透射或反射光的相位差实现调制和分离的，线宽精度和深度精度分别是±0.2um和≤20nm，通过光刻技术制作，主要应用于衍射分光和脉冲压缩等应用。维尔克斯光电的高精度光栅是一个非常不错的选择，如图1，有锯齿型和台阶型的光栅供用户选择，而且还可根据用户的应用需求定制合适的精密光栅。
图1：锯齿型和台阶型平面图示
衍射相位光栅的特点：
- 高精度
- 应用范围广
- 具有反射/透射型光栅
- 利用光刻技术制作
- 线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm
衍射相位光栅的应用：
- 机器视觉
- 摩尔条纹
- 衍射分光
- 激光检测
- 脉冲压缩
- 光通信、光存储、光学成像等
图2：相位光栅示意图
