纳米级光学干涉测厚仪

纳米级光学干涉测厚仪

应用： PET、PE、PMMA等薄膜·离型膜·沉积膜·金属表面漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层

产品简介：

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学，用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度，以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制，能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度，精准度可达纳米级。   

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪，其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司，其微型光谱仪体积小巧，可对全谱进行快速采集，产品应用广泛，可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业，可进行 Low-E玻璃镀膜检测，ITO玻璃镀膜检测，PET涂布在线膜厚检测，金属表面涂层检测，半导体，LCD膜厚检测等。 

工作原理：分光干涉法

当光入射到样品内部，会发生多重反射现象，多重反射光会由于相互之间的相位差增强或减弱，而相位差取决于样品的折射率和光程，因此来自于样本的反射光谱与其厚度有直接关系。光谱干涉法就是利用这种的光谱分析出样品的厚度，该厚度测量仪器根据测试范围的不同主要使用曲线拟合和FFT两种方法对光谱进行分析。

应用范围： 

•PET薄膜厚度测量

•涂层厚度测量，如HC，保护膜，光刻胶，OCA，离型膜等涂布厚度或克重的测量

•用于包装的PET表面介质膜克重或膜厚测量

•金属表面透明和半透明漆膜涂层

产品优势：

在线扫描式或多点测量（多达15点）同时测量

通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量

提醒及警报功能(通过或失败)

反射(透射)和光谱测量

同步测量多层厚度

高速、高准确度

参数：

PSD-200实验室型纳米级光学干涉测厚仪

用途：

·太阳能减反膜玻璃，TCO玻璃，Low-E玻璃，ITO玻璃，光学玻璃镀膜等测量。

·PET膜透明胶膜厚测量

·膜厚，颜色，粗糙度，透过率，反射率，雾度

·可用于实验室离线测量

技术水平：

·精度0.1%，达到国际同类产品水平

·检测透明和半透明涂层

·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率测量仪，具有测量速度快，测量准确，操作简便的特点。

技术参数：