Micro LED激光巨量转移
◆特点:
·激光巨量转移系统;
·高精度运动控制;
·自动对位;
·多功能夹具;
·多仪器搭载,支持转移后晶粒坏点修复;
·转移膜。
项目 | 规格 |
尺寸 | 长*宽高:可定制 |
测试样品大小 | Micro LED |
巨量转移方式 | 激光 |
激光器型号 | 进☐ |
运动系统 | 采用高精度伺服电机,高精度滚珠螺杆,亚微米级。定位精度0.1um |
良率、精度 | 1.扫描判别率> 9.999% (扣除外观不良) 2.重复性对位精度土0.5um |
软件 | 特仪自主开发之软件,全中文版,C#编程模块化。 操作简单,UI界面可依据客 户需求进行定制,软件自带各标准测试手法,可以通过直接调用模式进行测试 |