CANON 佳能 真空计 精密仪器
系列用途：半导体制造，液晶面板制造，真空装置，医疗食品行业。
详细介绍
CANON 佳能 真空计 M-342DG是在压力传感器部采用小型硅MEMS芯片，将温度、振动、气压变动等外部环境的影响控制在最小限度，实现高精度稳定的压力测量、CANON 佳能 真空计 精密仪器最小限度的零点调整频率的隔膜真空计。
产品特性
CANON 佳能 真空计 M-342DG具有高精度稳定的压力测量
优异的零点稳定性
温度依赖性低，在没有温度调整机构的情况下实现优异的稳定性
优异的耐振动噪声性能
小巧、低功耗
重量200g、尺寸W46mm×H49mm×L106mm、重量轻且紧凑（※1）
功耗0.5W
※1质量和尺寸为接头NW16规格时
产品用途
CANON 佳能 真空计 M-342DG广泛支持真空中压力的高精度、长期稳定测量
半导体、显示器、太阳能电池等各种真空装置
·控制、监控溅射、PECVD等真空成膜工艺压力
·负载锁定室、晶片冷却等气体导入工艺、CANON 佳能 真空计 精密仪器系统的压力管理
医疗、生物、食品等各种产业，以及各种研究开发用途
各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析装置、灭菌、真空泵评价、分子蒸馏等
参数规格
| 型名 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| フルスケール圧力（Pa） | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 測定精度（％ of reading） | 0.20(at 23 ℃) | ||||
| ゼロ点温度係数（％ of F.S./℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| スパン温度係数（％ of reading/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分解能（％ of Full-scale） | 0.01 | 0.005 | |||
| 測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.01 | ||||
| 実用測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.05 | ||||
| 実用制御下限圧力（％ of Full-scale） | 0.5 | ||||
| 応答速度（ms） | 100 | 30 | |||
| 加圧上限 | 200 kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと) *13.33 Pa仕様は130 kPa | ||||
| 電源電圧（VDC） | +13.5～26.4 | ||||
| 消費電力（W） | 0.5 | ||||
| アナログ出力（VDC） | 0～10 | ||||
| 使用温度/保管温度（℃） | 0～50/-20～70(非動作時) | ||||
| 大ケーブル長（m） | 100(専用ケーブル) | ||||
| ゼロ点調整方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
| 入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
| 接ガス部材質 | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
| フランジﾞ形状と質量 | NW16(200 ｇ)、NW25(210 ｇ)、8-VCR メス(250 ｇ)、φ70ICF(460 ｇ) | ||||
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | ||||
| 安全保障貿易管理規制 | 非該当 | ||||
| M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ) | ||||
CANON 佳能 真空计 M-342DG
M-342DG-1D M-342DG-1N M-342DG-11 M-342DG-12 M-342DG-13 M-350PG-SD M-350PG-SP M-350PG-R S350PG-RS M-351PG M-361CP-SP M-361CP-RSRRS485 M-370CG-SP M-370CG-RS485 M-311-HG-RS311 SP M-336MX-RS RS485M-601GC M-603GC M-320XG M-431HG M-833HG M-723HG、M-823HG、M-923HG M-012DM MG-2、MG-2MG、MF LG-11SB-A UGD-1S B-A BRG-1B NIG-2F/NIG-2TF PG-150 TG-550C M-342DG-11，M-342DG-12，M-342DG-13 M-341DG-01，M-350PG-SD，M-350PG-SP M-350PG-RS，M-351PG-SP，M-360CP-SP M-360CP-RS，M-311HG-SP，M-311HG-RS M-336MX-SP，M-336MX-RS，M-601GC，M-603GC M-320XG，M-431HG，M-833HG，M-723HG M-823HG，M-923HG，M-012DM， MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF M-320XG-N16,M-320XG-N25,M-320XG-C34 M-320XG-C70,M-320XG-VG70,M-390,390-03CR 390-05CR,390-10CR M-336MX-SP-N25,M-336MX-SP-C7
