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晶圆去胶剥离机

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  • 型号
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新时间2024-04-15
  • 厂商性质生产厂家
  • 所在地区上海市
  • 实名认证已认证
  • 产品数量1842
  • 人气值10176
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辅光精密仪器是的进口精密仪器和实验室仪器设备供应商,是*基于激光和成像等*光子技术分析测试仪器的规模性进口商和代理商,服务商。

辅光仪器公司以精密光学技术为特色,以光学应用为宗旨,以欧洲,北美和日本进口精密仪器为主业,为中国客户提供*分析测试仪器产品,促进*光学技术产品在中国的应用和相关技术水平提升。
21世纪是光学世纪,激光,光谱,光学成像等光学技术*地促进生物光子学,燃烧和流体力学光学诊断,光谱测试分析等学科发展和技术提升,成为前沿科学和*制造*的分析,计量,测试和实验工具手段,因此“光学”成为“精密”的代名词,是*精密测试分析的有力实验技术。
辅光精密仪器公司就是这样一个以光学为特色的进口仪器和实验室设备公司,拥有中国较为齐全的进口精密(光学)仪器种类,庞大而可靠的国外生产商群体,和快捷高效的贸易体系,是用户信赖的进口分析测试技术仪器和实验室仪器的旗舰型供服务商。
公司价值
经验丰富的激光和光学技术工程师帮助用户出具方案,确认适合应用的精密光学仪器和科学仪器装置,为用户提供“舒心,省心”的进口体验。
以丰富的进口操作经验和电子商务管理体系,高效沟通国外制造商,为用户提供高效的仪器进口和购置服务!

*的经营特色

孚光精仪专注于提供欧洲,北美和日本等光学技术*地区原产的基于光学、光谱和激光技术的精密仪器和设备。公司多数员工来自物理,半导体和生物光子学专业,具有扎实的专业知识和丰富的应用经验。

齐全的光学种类
涵盖了所有光学和激光技术应用领域和相关仪器
      荧光光学成像仪器 (包括FRET系统,TIRFM显微镜系统, 钙成像显微镜系统,荧光寿命成像系统,生物发光和荧光发光成像系统等生物光子学仪器)
      分子生物学光学仪器( 包括凝聚成像,生物发光和荧光发光成像系统等)
      医用光学仪器(内窥成像,生物活检成像,辐射成像等)
      光谱分析测试仪器 (激光拉曼光谱仪, FTIR光谱仪,LIBS光谱仪等)
      激光粒度仪器 (基于激光和图像技术的粒度和浓度测试仪器)
      光学成像仪器 (高速成像,红外热成像,X射线成像)
      光谱成像系统 (包括高光谱成像,多光谱成像仪器)
      燃烧和流体力学光学诊断技术和仪器 (基于激光和成像技术,融合光谱分析技术组建PIV,PLIF,温度探测,燃烧分析成像等仪器)
      无损光学检测仪器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射线成像,热成像,光学内窥等仪器)
      AFM, SEM,SPM等特种光学显微镜
      通用实验室仪器和设备(包含所有涉及光学技术的实验仪器)
服务和应用领域
       生物光子学
       生命科学
        医学成像
        制药
        食品工程
        化学和化工
        实验室仪器和实验室建设
       流体力学
       工程热物理
       燃烧诊断分析
       发动机研发
       航空航天
       地球物理科学
       地质和石油勘探
        半导体和微电子
        *制造
        新能源
        材料科学
        仪器科学与技术
         -------
客户群体
       高等院校
       *系统研究院所
       中国国有企业及其研究院所
       *
       外资企业
高效的服务体系
总部位于上海,在上海自贸区和天津自贸区具有仓库,在香港设立贸易公司,拥有遍布全国的代理商,供应商遍布美国、德国、英国、法国、意大利、奥地利、瑞典、捷克、立陶宛、爱沙尼亚等精密仪器*国家和地区。

公司受益于香港便捷的贸易条件以及上海自贸区和天津自贸区的高效进口程序,为客户提供高效技术仪器进口服务,为制造商提供高效出口服务。

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晶圆去胶剥离机RSS系列是ULTRA光刻胶清洗机器,适合晶片、光掩模和基板清洗去胶剥离工艺需求
晶圆去胶剥离机 产品详情
晶圆去胶剥离机RSS系列是ULTRA光刻胶清洗机器,适合晶片、光掩模和基板清洗去胶剥离工艺需求。晶圆去胶剥离机RSSx 124、126、128或133专门配置用于晶片、光掩模和基板的基于负和正光致抗蚀剂的工艺。
晶圆去胶剥离机非常可靠且经济高效,采用了经过验证的各种光刻胶剥离和清洁技术。晶圆去胶剥离机RSSx可配置有多个清洁选项,包括硫酸过氧化物、表面活性剂和/或DI-H2O的刷子;用于DI-H2O或化学制品的Megasonic喷嘴;用于化学配药的低压喷嘴;化学和DI-H2O加热器;还有更多。快速有效的干燥技术结合了可变的旋转速度;可选加热的DI-H2O;和氮辅助。该晶圆去胶剥离机系统非常安全,具有“冲洗至pH”功能,可在接触基质之前去除腔室内的任何化学物质。
晶圆去胶剥离机特点
•设计用于重要控制和安全的系统
•可调式卡盘,可安装4x4”至9x9”半自动变速箱带腔室基板的标准光掩模,适合高达300mm直径晶圆
•能够实现65nm节点和更好的处理。
•带伺服电机的主轴组件。
•带可编程自动变速器的摆动电刷组件用于化学和加热的双氧水分配的上/下和自清洁。
•振荡加热的DI-H2O低压分配臂。
•背面加热的DI-H2O,用于剥离和干燥辅助。
•全密封和径向排气室,用于:来自盖子的N2进料的层流。
•安全冲洗至整个工艺区域和基底的pH值禁止进入工艺和排水分流器的联锁装置用于化学和冲洗DI-H2O的阀门
•采用聚四氟乙烯涂层不锈钢的聚偏氟乙烯工艺室钢表面和独立聚丙烯机柜。
•带液位传感和数字传感器的化学用于Nano Strip®或Pure Strip®罐的流量计。
•具有三十(30)种配方的微处理器控制,具有:触摸屏图形用户,每个步骤三十(30)步可调节臂速度和行程的界面(GUI)位置、屏幕错误报告和安全。
•带按钮打开/关闭的平盖
•RSSx124型:29.5英寸宽X 35.25英寸深,最多两个处理臂
•RSSx126型:34.5英寸宽X 35.25英寸深,最多四个工艺臂
•设计符合SEMI S2/S8指南
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