4吋激光干涉仪
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测。
应用
广泛用于平面光学元件高精度检测。
特点
1. 准确测量 100mm 口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。
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技术指标
项目
型号
测量方式
菲索干涉原理
移相方式
波长移相或机械移相
主机波长
632.8nm (可定制)
主相机分辨率
2048*2048
测量口径
4-inch(101.6mm)
主相机调焦能力
有
主相机采集速度
50Hz
透射平面参考镜面形误差(PV)
λ/10
反射平面参考镜面形误差(PV)
≦ λ/10(可定制 λ/20)
空腔精度(PV)
≦ λ/10， λ=632.8nm
面形误差测量重复性(RMS)
≦ 1nm (2δ)
测量高平行度光学元件透、反射波前
支持
标准配件
计算机 、条纹监视及分析软件
相干长度
1.0m (若被扩束，此参数会变长)
工作温度要求
22℃ ±1℃
工作温度波动要求
每小时变化小于 1℃
工作湿度要求
55%±10%RH
隔震要求
气浮平台，固有频率：1-2Hz
工作电压
AC 110-220V,50/60Hz
