扫描型膜厚测试仪
是简洁易操作的台式膜厚仪，适用于在大尺寸基板上的薄膜和涂层上，利用光学反射方法来测量和自动分析薄膜涂层的表征。
扫描型膜厚测试仪
膜厚仪是可通过测定放置在真空托盘上的任何大小的半导体晶圆片，快速计算出其厚度、折射率、均匀性、颜色等参数。
膜厚仪的光学扫描系统，采用一套又可配套的光谱仪，集成白炽和LED混合的光源，以及其他光学部件。在本系统设计中没有任何弯曲或移动探针。因此，在精确度、重复性和长期性方面，光纤具有优异的性能。确保系统结果输出的稳定性。此外光源的特殊设计提供极长寿命，可达10000小时以上。
系统参数 | FR-Scanner-E VIS/NIR | FR-Scanner-F VIS/NIR | FR-Scanner-F VIS |
样片尺寸 | 晶圆片: 2in-3in-4in-6in-8in. 不规则样片等 | ||
R向分辨精度 | 10μm | 5μm | 5μm |
角度分辨精度 | 0.2° | 0.1° | 0.1° |
光斑大小 | 500μm (直径): 反射的区域 | ||
zui小膜厚 | 100nm | ||
光谱范围 | 350nm - 1100nm | 350nm - 1100nm | 550nm – 900nm |
光谱仪参数 | 3648 pixels | ||
光源平均使用寿命 | 10000小时 | ||
膜厚范围 | 20nm-90μm | 20nm-90μm | 100nm-190μm |
测量分辨率 | <0.1nm | 0.06nm | 0.06nm |
测量稳定范围 | <0.1nm | 0.06nm | 0.06nm |
测量精度 | 1nm | 1nm | 1nm |
扫描速率 | 200meas/min 5points: 6sec 25points: 15sec | 625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec | 625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec |
通讯接口 | USB 2.0 / USB 3.0. Any PC running Windows 7/8/10 64bit. | ||
尺寸 | 485W x 457L x 500H mm | ||
功率要求 | 110V/230V, 50-60Hz, 300Watts | ||
重量 | 23kg | 40kg | 40kg |
*附件选项
电脑：PC with 19inch screen
对焦模块：光学模块附带250um直径光斑大小的反射探针
泵浦：样品放置用的高级无油真空泵浦
