一、平面平晶
由玻璃或水晶制成,用来检查光整镜面的平面度。平面平晶的一个面是非常光整的镜面,把它与加工镜面相接触,就会产生干涉条纹,通过对此干涉条文的测量,可以求得工件被加工镜面的平面度。适用于块规、千分尺、塞尺等量具的测量面的平面度检测。规格
直径 | 玻璃制60mm | 玻璃制130mm |
厚度 | 15mm | 27mm |
平面度 | 0.1μm | 0.1μm |
二、平行平晶
与平面平晶相似,把它与加工镜面相接触,就会产生干涉条纹,通过对此干涉条文的测量,可以求得工件被加工镜面的平面度和平行度。平行平晶的两面均为高精度的平整镜面,且相互间的平行度很高,适用于检测各种计量器具的测量工作面的平面度及平行度。规格
直径 | 30mm |
厚度 | 12mm,12.12mm,12.25mm,12.37mm |
平面度 | 小于0.1μm |
平行度 | 小于0.2μm |