NHX-NO210D 无氧烘箱

一、产品特点及用途

     1.产品特点

       该设备是一种新型工业级干燥设备，采用长轴耐高温大功率轴流风机，不锈钢涡轮扇叶，结合设计风道，智能PID温控器结合SSR固态继电器控制高效不锈钢发热器加热，形成温度均匀的高温热风，对箱体内部进行加热，确保烘箱内部达到理想的温度环境。在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化，自动控制充入氮气排出氧气，达到超低氧，满足被烘烤部件无氧环境。

     2. 产品用途

       产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空，IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

二、产品详细参数;

1.箱体结构

     1.1.内部材质：采用SUS304#日制800番1.5mm厚之镜面不锈钢板，满焊处理，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE。

     1.2.外部材质：外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑，耐刮伤，造型美观。

     1.3.保温材质：采用100K高级保温棉，六面保温断热，保温厚度为80mm-120mm，保温性能好。

     1.4. 箱门结构：箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧，保温性能好，抗老化，环保无污染。

     1.5. 载物层架：可根据物品大小调节层间距，空间利用率高。

2. 温度控制系统：采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面，定值/程序两种控制模式，带传感器断线报警功能，带超温警报保护功能，确保产品运行安全。

3. 控温方式

     3.1.讯号来源：采日制进口CA感应棒±0.5%。

     3.2.输出被控组件：SSR固态无节点输出，确保加热功率精准。

4. 箱内热风循环系统

     4.1. 送风方式：箱内采用单向水平运风，两侧风道内强压送风。

     4.2. 风道结构：风道两侧采用高密度冲孔风板，精准控制导流板角度，确保箱内温度均匀性。

     4.3. 送风装置：采用大功率三相异步耐高温型长轴马达+大口径不锈钢涡轮扇叶，涡轮经水平纠正处理，确保运风平稳 ，噪声≤65dB。

     4.4. 送风装置安全保护系统：带超温过载过流保护功能，确保马达及风机的使用寿命和安全性能。

     4.5电加热系统：采用覆套式不锈钢无尘化电热管，洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套，高绝缘导热改性氧化镁浇筑，无名火，安全不漏电）

5.氧含量控制系统

    5.1氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路，各向箱内提供100L/min + 200L/min的氮气，每路配套进口电磁阀，双流量自动切换，在箱内达到无氧环境后，自动切换至低流量氮气，大大节省氮气消耗量，也可根据工艺制程要求，自行设定，满足多种工艺需求。

    5.2 排氧时间≤30 min，带耐高温氧含量控制仪，氧化锆氧含量传感器，耐高温自吸泵一套，可实时检测氧含量并显示实际数值，配备氧含量超标报警功能。

6.整机安全保护系统

    6.1. 采用三重超温保护系统，确保箱体在运行过程中的整体安全性能（详见技术参数）。

    6.2. 箱体内部电器保护系统（确保箱体内部电器运行平稳，安全可靠）：

    6.2.1.超温防止器（独立限温，超温断电）；

    6.2.2.相序保护（欠压欠相保护）；

    6.2.3.马达过电流保护；

    6.2.4.控制线路保险丝；

    6.2.5.电热过电流保护；

    6.2.6.无熔丝开关。