名称 | 参数 |
载物台大小 | 220*180mm |
XY行程 | 220*180mm |
视野(FOV) | 50mm |
视野(FOV) | 50μm |
载物台负荷 | 8KG |
被测物体面积 | 220*180*220mm |
轴数 | 3轴 |
运动速度 | 100mm/s |
最小步进精度 | <3μm |
空间分辨率 | 3μm |
穿透力 | 30mm铝板 |
灰度级 | 12级 |
系统倍率 | 150倍(几何倍率25倍) |
管电压KV | 60KV |
管电流uA | 100uA |
光管类型/焦斑 | 一体式油冷微焦光斑光管,FOCUS=50um |
图像接收器 | 光纤数字成像面板 |
图像接收器倾斜 | 0° |
辐射参考:GB15208.1~2005 | 辐射值≤1usv |