指信号频率介于300MHz-3000MHz范围内的电磁波。每一次局部放电过程都伴随着正负电荷的中和，并出现陡度很大的电流脉冲，同时向周围辐射电磁波。开关柜内部局部放电时的电流脉冲能在内部激励频率高达500MHz~1500MHz的电磁波，产生的电磁波可以通过金属箱体的接缝处、观察窗或气体绝缘开关的衬垫传播出去。当放电间隙比较小、放电间隙的绝缘强度比较高时，放电过程的时间比较短、电流脉冲的陡度比较大，特高频局放监测技术就是通过监测这种电磁波信号来实现局放监测功能。
1.超声波法
局部放电产生的声波的频谱很宽，可以从几十 Hz 到几MHz，其中频率低于 20kHz 的信号能够被人耳听到，而高于这一频率的超声波信号必须用超声波传感器才能接收到。通过测量超声波信号的声压大小，可以推测出放电的强弱。信号频率为高于20 kHz的声波。对因局部放电而产生的频率介于20kHz～200kHz区间的声信号进行采集、分析、判断的一种监测方法。
2.暂态地电波法
暂态地电波特指电气设备中由于局部放电现象在电气设备接地外壳及接地线中激励的频率在3-100MHz 之间的电磁波信号序列。高压开关柜内部局部放电产生的电磁波可以通过金属箱体的接缝处或气体绝缘开关的衬垫传播出去，同时产生一个暂态地电波，通过设备的金属箱体外表面而传到地下。对因局部放电产生的3~100MHz频率的信号进行采集分析判断。
３.规范性引用文件
下列规范所包含的条文，通过在本规范中的引用而成为本规范的条文。在规范出版时，所有版本均为有效。所有的标准、规范都会被修订，使用规范的各方应探讨使用下列标准、规范版本的可能性。
l 高压开关设备和控制设备标准的共用技术要求 DL/T 593
l 3.6kV～40.5kV 交流金属封闭开关设备和控制设备 DL/T 404
l 3.6kV～40.5kV 交流金属封闭开关设备和控制设备 GB 3906
l 局部放电测量 GB/T 7354
l 气体绝缘金属封闭开关设备带电超声局部放电监测应用导则 DL/T 1250-2013
l 超声波法局部放电测试仪通用技术条件DL/T 1416-2015
l 电力设备局部放电现场测量规范 DL/T 417
l 高电压试验技术 部分：一般试验要求 GB/T 16927.1
l 高电压试验技术 第二部分：测量系统 GB/T 16927.2
l 高电压试验技术 第 3 部分: 现场试验的定义及要求 GB/T 16927.3
l 电网设备带电监测技术
