一、产品描述
主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的电学特性。
二、主要特点
本仪器为非接触，非损伤测试，具有测试速度快，重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片等优点。
三、核心模块描述
产品集成方阻（电阻率）、PN型、温度三探头一体式测量，可广泛用于硅片分选机、生产过程分析等光伏及半导体测量领域。本产品由如下部分组成：
1、控制主机
可实现电阻率探头、PN探头、温度探头、光纤信号的统一管理；与远程电脑进行网络通讯。
2、方阻（电阻率）探头
主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的电学特性。
3、PN类型检测探头
利用光伏效应，通过测量由光伏效应引起的表面光电压 (SPV), 分析半导体材料相关性质。
四、主要技术参数
参数 | 探头 | 说明 | |
组成 | 方阻探头 | 方法：非接触式涡流法 范围：1-300Ω/□ (0.1 - 20Ω*cm，Tk≈750um） 重复性：<1% 示值误差：<±3% 单点测量时间：< 1秒 | 型号：R-PN-200 (九域半导体科技) |
PN探头 | 方法：非接触式SPV法 单点测量时间：< 1秒 误判断 < 0.02% | ||
控制器 |
可同时连接电阻率探头和PN探头，可扩展温度探头 | ||
OCR | COGNEX IN-SIGHT 1740系列晶圆读码器 | ||
主机 | DELL（windows 10）+23寸显示屏 专用数据分析软件（记录、质控、Mapping） 可接入MES系统 | ||
测量过程 | 1、放置Wafer至样品台 2、通过按钮Ocr识别Wafer ID信息 3、手动移动探头至待测位置，按钮触发测量 4、数据显示（包括PN 和 方阻或电阻率）、记录、质控、输出文件等 5、根据客户需求可定制MES系统 | ||
Wafer信息 | 尺寸：> 2” | ||
额定功率 | 36W（数据分析模组） + 250W(电脑） | ||
环境温度 | 23 ±5°C | ||
电源要求 | 额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz | ||
提供标样 | 标准片：1片（4寸），电阻率范围1Ω*cm - 10Ω*cm | ||
验收判定 | n 测试条件：设备正常运行后，不低于10片的Wafer进行测试 n 设备性能：满足上述量程内重复性及准确性标准 | ||
五、仪器使用环境
l 环境温度：23 ±5°C
l 环境湿度：（65±20）%RH
l 电源要求：额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz
六、安装与验收
1) 物流运输；
2) 仪器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最迟甲方签收仪器后5个工作日），上门为甲方安装通电并协助甲方验收；
3) 验收标准：以本协议第2项技术参数中的“验收判定”内容实施现场验收；
4) 验收合格后甲方为乙方签字确认。
七、技术支持与培训
1) 乙方提供7*12h在线技术支持，2小时内回馈；
2) 乙方负责在验收过程中对甲方技术人员现场技术培训；
3) 在质保期内，乙方为甲方提供全套免费技术服务，不限于更换备件等；质保期后，若非人为损坏仪器的维修服务，乙方只收取硬件成本费用；
4) 乙方免费协助甲方将仪器数据对接至甲方MES系统，若需增加硬件则无需甲方承担费用。
八、质保期
本仪器，乙方提供自验收之日起1年质保；
九、发货备件清单
序号 | 名称 | 数量 |
1 | 测试仪 | 1台 |
2 | 电源线 | 1条 |
3 | 电脑(Windows正版、数据GHOST备份) | 1台 |
4 | 通讯线 | 1条 |
5 | 说明书 | 1本 |
6 | 出厂合格证 | 1个 |
