| VCF 真 空 碳 管 炉 | 型号 | VCF-48-21 | |
| 特 点 | 该设备可用于做碳沉积之类的CVD实验，其具有以下优点 1、温度高，可达到2100℃ 2、安全，不会像管式炉出现断管子的风险 3、腔体大，比管式炉处理的样品体积大 4、加装防爆阀，可及时将腔体内多余气体排出。 5、采用电容薄膜规测量真空度，测量结果更精准。 若用户需要洁净的环境，可选购我公司钨丝炉或钼丝炉，具体可咨询我公司销售 | ||
| 技术方案 |
1、一个石墨桶放在加热区内，石墨桶内有两个（也可定制其它数量）放物料的支架 2、气体由下方进气口进入石墨桶内，经过物料架，在衬底材料表面经过化学反应形成固体沉积物，多余的气体经上方排气口排出。 | ||
| 功率 | 48KW | ||
| 电源 | 三相 380V 50/60Hz | ||
| 加热温度 | 2100℃ | ||
| 控温模式 | 欧陆 3204 智能PID 5×16段程序控温 | ||
| 加热碳管尺寸(mm) | Dia200(内径）×320 | ||
| 有效加热尺寸(mm) | Dia160×160 | ||
| 腔体真空度（扩散泵机组） | < 5×10 -3Pa | ||
| 腔体充气压力 | < 0.05MPa | ||
| 升压率 | <4Pa/小时 | ||
| 断偶保护和显示 | 有 | ||
| 过温保护 | 有 | ||
| 过流保护 | 有 | ||
| 欠压保护（水压） | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1℃ | ||
| 温度检测方式 | 钨套管钨铼热电偶 | ||
| 升温速率 | < 20度/min | ||
| 真空腔体内是否水冷 | 是 | ||
| 观察窗尺寸 | Dia 90mm | ||
| 外形尺寸 | 1.85*1.6*2米 | ||
| 防爆系统 | 防爆系统由压力变送器和防爆阀组成 压力传感器，可在压力控制表上设置报警压力，当炉管内压力大于等于设定的报警压力时，防爆系统会自动启动，并放出炉管内多余的气体。 防爆电磁阀由两个方向相反的单向阀组成，无论是真空还是气氛下都可以关的很好，不漏气，不回流。 压力变送器 防爆阀 | ||
| 冷水机（选配） | 8P | ||
| 真 空 机 组
| 机组输入电压 | 380V /220V | |
| 波纹管 | KF40×1000 | ||
| 真空挡板阀 | KF40 | ||
| 前级真空泵 VRD-60 | 功率 | 2.5KW | |
| 电压 | 380V | ||
| 转速 | 1450rpm | ||
| 进气口径 | KF25/KF40 | ||
| 前机泵抽气速率（L/S） | 15 | ||
| 极限压强 | 4×10 -2Pa | ||
| 扩散泵TK200 | 电压 | 220V | |
| 功率 | 2000W | ||
| 进气接口 | DN200 | ||
| 出气接口 | DN40 | ||
| 注入油量 | 0.4L | ||
| 抽气速率（N2） | 2000L/S | ||
| 复合真空计
| 复合真空计型号 | ZDF | |
| 电源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | ||
| GX 供 气 系 统 主 要 参 数
| 质量流量计
| 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
| 耐压 | 3MP | ||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
| 工作（使用）压力 | 0.3MPa | ||
| 线性 | ±0.5%F.S. | ||
| 重复精度 | ±0.2% F.S | ||
| 路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） | ||
| 接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | ||
| 系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | ||
| 工作温度 | 5-45℃ | ||
| 压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||
| 静态混气室 | Dia50 X 400MM | ||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | ||
| 冷水机
| 电源 | 3PH-380V/50HZ | |
| 制冷量 | 18.3*10³kcal/h | ||
| 输入总功率 | 12KW | ||
| 扬程 | 50M | ||
| 流量 | 12m3/h | ||
| 水箱容量 | 130L | ||
| 外形尺寸 | 730×1335×1415 | ||
| 净重 | 285KG | ||
一：设备特点
本电炉为周期作业式，广泛应用于功能陶瓷，光学材料，碳复合材料，硬质合金，粉末冶金等在高温真空条件下进行烧结处理，也可在充气保护情况下成型烧结。
二、结构组成
1.炉体 2.炉盖 3.炉底 4.炉架 5.真空系统
6.温控系统 7.气路系统 8.变压器及联接电缆 9.水冷系统 10.发热元件及隔热屏
三、结构说明
1、炉体：采用双层水夹层结构，内层为不锈钢（1Cr18N9Ti）抛光，外层为优质碳钢，上、下法兰组焊成筒型结构，法兰平面开设密封槽。采用“O”圈真空密封，并设水冷装置（防止因温度过高“O”圈老化）。开设有抽气、热电偶、红外孔等。
2、炉盖：采用双层夹层封头结构，设有观察孔，屏蔽、锁紧、开启装置，并通水冷却。
3、炉底：同样采用双层水夹层封头结构，设有电极引出装置，支撑平台等，并设有水冷装置。
4、炉架：由型钢及钢板组焊成箱式结构，炉体安放在箱体上，美观大方。
5、真空系统：由壹台TK-200扩散泵配冷阱，壹台VRD-60机械泵、手动高真空挡板阀、真空压力表（±Pa）、充气阀、放气阀和真空管路等组成。机械泵采用金属波纹软管快速接头联接（减缓震动），真空度的测量采用数显复合真空计。
6、温控系统：采用可控制硅控温，仪表为欧陆温控表，具有P.I.D调节、超温声光报警功能，电器元件采用正泰品牌，电控屏箱按西门子标准制作，控温精度高，操作方便。
7、气路系统：在整个系统中设有1个进气口、1个放气口，可充气氛。
8、电气控制：采用可控硅控温，配有大电流变压器、调压器及温度控制仪表组成温度控制执行回路。电路设有断水、过流、超温报警及保护功能。
9、水冷系统：由各种管道阀等相关装置组成，具有断水声光报警自动切断电源功能。
10、变压器及联接电缆：采用与之相匹配的变压器及联接电缆。
11、发热元件及隔热屏：发热元件采用电极石墨加工成圆筒形的结构，隔热屏采用石墨、碳毡、石墨毡（1层石墨筒，4层碳毪和4层石墨毡，每层厚10mm以上），保温性能好、加热均匀、辐射面大、耐热冲击性好，可快速加热和冷却。保温层和发热分体，易维护和取装，保温套外用不锈钢框架支撑，固定。
