（1）该款设备是小型浮动催化 CVD 系统，配备真空系统，可以低压条件下进行实验；设备配有双向推拉注射泵、氧分析仪、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等组件。
（2）加热炉为三温区立式炉，上端法兰配有导液杆（可上下调节）和 1 个进气口；下端法兰配有安全保护泄压装置，底部配有收集罐，收集罐放置于小车上便于移动，真空系统方面由一个电阻规和一台 BSV30机械泵组成；尾部配有不锈钢过滤装置；加热炉炉体为密封结构，同时备有可通循环气体的进出口。
（3）防爆控制柜配有 15 寸触摸屏及按钮操作组件，下方配有氧分析仪、触摸防爆鼠标以及气路手阀组件；柜体左侧配有可切换鼓泡装置的组件；最顶部箱体配有双向推拉注射泵，供液体连续工作。
| 电压 | 380V |
| 功率 | 13.5KW |
| 加热区长度 | 250mm*250mm*250mm |
| 工作温度 | ≤1500℃ |
| 推荐升温速率 | 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min，1600℃以下≤2℃/min |
| 热电偶 | B型热电偶 |
| 控温方式 | 模糊PID控制和自动整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
| 加热元件 | 硅钼棒 12根（每个温区上下各4根） |
| 加热炉尺寸 | 1225*1220*2350mm（长x宽x高） |
| 控制柜尺寸 | 1110*1020*2710mm（长x宽x高） |
| 设备总重 | 约780Kg |
