系统的特点，通过对１SMU（Source Measurement Unit）输出的扫描切换，实现多通道测试。
① 由控制部・测试部两个单元构成。
② 电脑负责测试管理和数据处理。
③ 电脑和测试板之间的I/F，使用LAN（基于以太网Ethernet的串行通讯）。
④ 测试部和控制部的连接LAN线。
⑤ 使用不间断电源，停电时可保护数据。
⑥ 1测试单元最多可搭载10块测试板。
Ø 测试规格
l SMU板
有3种测试模式1) AC导通电阻测试
2) DC电压测试
3) DC电阻测试
AC导通电阻测试
加载2kHz的交流，测试电阻值。电流加载(AC导通电阻测试)
可从以下5个电流值中选择加载电流，进行测试。（有AUTO加载）| No. | 加载 | 加载精度 | 加载频率 | 备考 |
| 1 | 10uA | ±10% | 2kHz±0.1% | |
| 2 | 100uA | ±10% | 2kHz±0.1% | |
| 3 | 1mA | ±10% | 2kHz±0.1% | |
| 4 | 10mA | ±10% | 2kHz±0.1% | |
| 5 | 100mA | ±10% | 2kHz±0.1% |
电压限定(AC导通电阻测试)
| No. | 限定电压 | 限定精度 | 备考 |
| 1 | 20mV | +25% |
电阻测试(AC导通电阻测试)（有AUTO测试）
| No. | 测试量程 | 最小 分辨率 | 基本精度 | 备考 | ||||
| 10uA | 100uA | 1mA | 10mA | 100mA | ||||
| 1 | 2.0000kΩ | 100mΩ | 0.4% | |||||
| 2 | 200.00 Ω | 10mΩ | 1% | 0.4% | ||||
| 3 | 20.000 Ω | 1mΩ | 2% | 1% | 0.4% | |||
| 4 | 2.0000 Ω | 100μΩ | 5% | 2% | 1% | 0.4% | ||
| 5 | 200.00mΩ | 10μΩ | 10% | 5% | 2% | 1% | 0.4% | |
| 6 | 20.000mΩ | 1μΩ | 1% | |||||
| 7 | 2.0000mΩ | 100nΩ | 5% | |||||
AUTO量程(AC导通电阻测试)
自动选择每个CH的量程。
选择电流加载量程和电阻测量量程。
首先选择电阻测量量程，在可使用的电流加载量程中，选择精度电流加载量程。
作为基本动作，如果测定电阻值在电阻量程的10%以下，则将进行量程DOWN，如果测定电阻值在电阻量程的99%以上，则将量程提升。
测试速度(AC导通电阻测试)
| 平均次数 | 测试时间 |
| 1次(1电源周期) | 250ms/CH |
l DC电压测试
加载直流电流，测试电压。电流加载(DC电压测试)
| No. | 加载量程 | 分辨率 | 范围 | 加载精度 | 备考 | |
| 1 | 10.000uA | 1nA | 10uA ～ 1nA | ±0.4%/FS | ||
| 2 | 100.00uA | 10nA | 100uA ～ 10nA | ±0.2%/FS | ||
| 3 | 1.0000mA | 100nA | 1mA ～ 100nA | ±0.2%/FS | ||
| 4 | 10.000mA | 1uA | 10mA ～ 1uA | ±0.2%/FS | ||
| 5 | 100.00mA | 10uA | 100mA ～ 10uA | ±0.2%/FS |
电压测试(DC电压测试)
| No. | 测试量程 | 分辨率 | 范围 | 测试精度 | 备考 | |
| 1 | 2.0000V | 0.1mV | 2V ～ 0.0000V | ±0.2%/FS |
电压限定(DC电压测试)
| No. | 限定电压 | 限定精度 | 備考 |
| 1 | 4.1V | ±0.2V |
测试速度(DC电压测试)
| 平均次数 | 测试时间 |
| 1次(1电源周期) | 41ms/CH (电源频率50Hz时) |
测试时间计算式
= 扫描切换时间 + 电路时间 + A/D + 电路中断 + 演算・判定时间
= 1ms + 5ms + 20ms + 5ms + 10ms
= 41ms
| No. | 电阻量程 | 加载电流 | 分辨率 | 测试范围 |
| 1 | 200.00kΩ | 10.000uA | 0.01 kΩ(0.1mV/10 uA) | 200kΩ(2V/ 10uA) ～ 0.00 kΩ |
| 2 | 20.000kΩ | 100.00uA | 0.001 kΩ(0.1mV/100uA) | 20kΩ(2V/100uA) ～ 0.000 kΩ |
| 3 | 2.0000kΩ | 1.0000mA | 0.0001kΩ(0.1mV/1 mA) | 2kΩ(2V/ 1mA) ～ 0.0000kΩ |
| 4 | 200.00 Ω | 10.000mA | 0.01 Ω(0.1mV/10 mA) | 200 Ω(2V/ 10mA) ～ 0.00 Ω |
| 5 | 20.000 Ω | 100.00mA | 0.001 Ω(0.1mV/100mA) | 20 Ω(2V/100mA) ～ 0.000 Ω |
AUTO量程(DC电阻测试)
因为，测量电压量程只有一个，所以，为了电压变成2V～0.2V，自动选择所加载的电流。测试速度(DC电阻测试)
固定量程内的测试时间与DC电压测试相同。使用AUTO量程时，除了扫描切换时间以外，还需要考虑量程切换的次数。
测试时间计算式
= 扫描切换时间 + ( 加载・测试时间 × 量程切换次数 )
= 1ms + ( 40ms × 量程切换次数 )
时间 = 1ms + ( 40ms × 6 ) = 214ms ※为应对量程发振，最多1次。
Ø 温度测试单元
该单元是可选的，一个系统可以使用一台。1） 温度传感器最多可以连接2CH，最多可以测量1点的温湿度。
2） 使用的温度传感器对应PT100或T型热电偶。
测试规格
| 项目 | 内容 | 备考 |
| 对应温度传感器 | PT100／T型热电偶 | PT100 JIS C 1604 T型热电偶 JIS C 1602 |
| 温度输入点数 | 2点／单元 | |
| 传感器线径 | 0.65mm～1.6mm | 依据JIS Z-8704标准 |
| 测试温度范围 | -200℃～+390℃ | |
| 测试温度分辨率 | 1℃ | |
| 测试温度误差 | ±1.5℃ |
l 测试模式
有三种：热冲击式・温度定值式・无温度判定式。
使用温湿度测试时，可以用温湿度测试单元，将温度数据中的1个数据和测试数据一起记录下来。
热冲击模式
可收录温度循环中的低温区/高温区中各1点数据。该模式于使用温湿度板时。
(b) 测试值以高温限定值和低温限定值的设定值为基点，在任意设定的收录待机时间后，在各温度下，测量1次，（将高温及低温作为1个循环，各测1次）各限定值的基准以5℃左右内为目标进行设定，而不是温湿度箱的设定温度。另外，将各试验时间（高温时间、低温时间）的一半作为目标设定收录待机时间。
注）因为，测试系统上搭载的测试板的数量会变动，所以，请不要在温度箱的温度保持时间结束后的3分钟后设定数据收录待机时间。
(2) 设定温度境界值
温度循环是从低温开始还是从高温开始,根据温度境界值和测试开始时的温度（来自温湿度测试的传感器表面温度）来判断。
（来自温湿度板的传感器与温湿度箱的传感器在同一位置时，箱内环境温度是试验开始的温度。）
从低温开始试验时，测试开始时的温度＞温度境界值。
从高温开始试验时，测试开始时的温度＜温度境界值。
例如）
欲从低温开始试验，测试开始时的温度（25℃） ＞ 温度境界值(20℃以下)
欲从高温开始试验，测试开始时的温度（25℃） ＜ 温度境界值(30℃以下)
温度定值模式
达到设定的温湿度，在任意设定的收录待机时间后，按照任意设定的收录间隔进行测试。或者，达到设定温湿度后，不会随时测试温湿度。
无温度判定模式
在与恒温箱的温湿度无关的情况下，进行测试。软件
系统的用户界面使用了Windows 10Pro的GUI，可以轻松编辑条件。
设定条件
以下为条件设定画面举例◆热冲击模式的条件设定画面例
◆无温度判定模式的条件设定画面例
条件
| 项目 | 内容 |
| 测试模式 | [AC电阻测试] [DC电阻测试] [DC电压测试]三种可选 |
| 温度模式 | [温度定值] [温湿度定值] [无温度判定]三种可选 |
| 总试验循环次数 总试验时间 | 1个试验的温度循环次数或总试验时间 |
| 经过循环 经过时间 | 循环次数・时间计数的偏离数 已有测试完的数据，作为该数据的后续，在进行测试时设定。 |
| 温度稳定等待时间 | 高低温区到达开始，到进行测试之间的时间。 设定温度到达稳定的时间 |
| 平均次数 | 设定对测试数据的平均化次数（通常1次） |
| 收录间隔 | 记录数据时间间隔 |
| 加载电流值 | 加载电流值（于DC电压测试） |
| 高温 | 到达高温区的温度 |
| 低温 | 到达低温区的温度 |
| 温度境界值 | 为了判定测试数据是在高温区还是在低温区的设定。 通常，设定高温及低温之间的温度。 |
| 值判定 | 测试值在限定值以上，判定为NG。 |
| 高温・低温限定值 | 在热冲击中，可在低温区・高温区分别设定。 |
| NG结束 | 设定对发生NG的样品是结束测试，还是继续测试。 |
| 相对值判定 | 以基准点的测试值为基准，超过变化量或变化率时，判定为NG。 |
| 判定基准点 | 测试变化量/变化率判定时的基准值 |
| 变化判定 | 选择变化率或变化量 |
| 高温・低温判定 | 变化率/变化量 判定 变化率设定为[％]、变化量设定为[mΩ] 热冲击试验中，在低温区・高温区分别设定。 |
◆温度模式
| 温度模式 | 说明 |
| 热冲击模式 | 在温度循环的低温区/高温区，各记录1点。 |
| 温度定值模式 | 到达设定的温度，在设定的待机时间后，按照收录间隔进行测试。 |
| 无温度判定模式 | 不管温度如何，按收录间隔进行测试。 |
测试数据显示
测试数据如下所示。
显示数据内容
| 项目 | 内容 |
| 试验名 | 输入试验名称 |
| 试验状态 | 试验状态 |
| 开始时间 | 试验开始的时间 |
| 经过时间 | 试验经过的时间 |
| CH数(结束) | 结束测试的CH数 |
| CH数(登录数) | 试验的CH分配数 |
| 比率 | 试验结束CH的比率 |
| 随时显示数据 | 随时显示所有数据内的最终数据 |
| Bd－Gp－Pt | Bd:测试板编号/Gp:组编号/Ch:通道编号 |
| 经过时间 | 数据的收录时间（于热冲击以外的测试模式） |
| 经过循环 | 数据的收录循环（于热冲击模式） |
| 循环状态 | 高温/低温（于热冲击模式） |
| 电阻值[Ω] | 监控电阻值（于AC电阻测试・DC电阻测试时） |
| 变化率[％] | 于值判定，变化率判定时。 |
| 变化量[Ω/ V] | 于值判定，变化率判定时。 |
| 电压值[V] | 监控电压值（于DC电压测试时） |
| 加载电流值[A] | 加载监控电流值 |
| 温度[℃] | 记录试验箱内的温度 |
| 数据数量 | 记录数据数量 |
| CH状态 | 与状态画面的状態一样的CH状态 |
| 经过比率 | 循环进步率（热冲击模式）・时间进步率（热冲击意外的测试模式） |
曲线显示
系统显示曲线如下所示。■ 过程数据曲线
纵轴为电阻值；横轴为过程时间。
最多100CH同时显示。
数据导出
测量数据以逗号（、）分段CSV文件形式输出。也可以在打印机（选配）上，打印测定数据和过程数据曲线。
温度修正
在温度记录单元的设定中，干球温度和湿球温度的修正值。可对各温度CH进行修正值设定。
写入修正前温度和修正后温度。
Ø 样品连接
1) 通过中继电缆和测试线与样品连接，然后焊接到样品上。2) 中继电缆和测试线无需工具即可轻松拆卸。
3) 测试线采用特氟龙「FEP」，耐热温度为200℃。
※ 测试线属于选配。
Ø 一般规格
| 控制部 | 电脑 | PC Windows10 Pro 包含19inch Display | |
| 与测试部的连接 | LAN (Ethernet) | ||
| 其他 | 停电对策 | 不间断电源 停电发生后，收录数据并保存，以确保通电后继续测试。 | |
| 收纳单元 | 主机 | 11插槽的外形尺寸： W430×D620×H300mm 重量：约27kg（搭载10块测试板时） 消耗电流：5A 以下（100V 使用时） | ※不含凸起部分 |
| 耐噪声 | 1μsec 脉冲 2kV 1分钟 | ||
| 绝缘电阻 | DC500V 100MΩ 以上 | ||
| 电源 | AC 85V～264V 50／60Hz | ||
| 使用环境 | 温度＋10℃ ～ ＋40℃ 湿度75%RH 以下（无结露） | ||
| 存放环境 | 温度－10℃ ～ ＋60℃ | ||
构成清单
| No. | 名称 | 数量 | 备考 |
| 1 | 主机 | 1 | 11插槽 |
| 2 | SMU板 | 1 | |
| 3 | 扫描板 | 10 | 含模拟总线电缆 200CH |
| 4 | 扫描板用中继电缆线 | 20 | |
| 5 | 扫描板用测试线 | 20 | |
| 6 | 电脑 一台 带增设LAN卡・Office软件 | 1 | 含19inch显示器 |
| 7 | 不间断电源 220V | 1 | |
| 8 | LAN线 | 2 | |
| 9 | 温度记录单元 | ||
| 10 | 软件安装盘 | 1 | |
| 11 | 使用说明书 | 1 | |
| 12 | 校正证明书 | 1 | |
| 13 | 不间断电源使用说明书 | 1 | |
| 14 | T型热电偶 5m | 1 |
