连续式四探针片电阻及光学膜厚测量设备-仪表网

公司介绍主营产品

　　铂悦仪器自成立以来，凭借与世界各大仪器品牌的战略合作关系，以及不断优化公司自身经营管理，提高服务质量，铂悦仪器已经成为国内的仪器供应商。我们提供的产品均属于高科技行业，产品包括高精度的分析仪器、检测仪器和生产设备，以及配套的耗材和配件，这些产品广泛应用于工业、半导体、太阳能、医药、医疗器械、生物、能源、电子、石化等各个领域并服务于各大院校、研究所、检测机构、及政府部门等。铂悦仪器不仅提供高品质的产品，更培养了专业的销售、技术和售后服务团队，本着客户*的原则，从客户的实际需求出发，我们为每一位客户量身订制Z适合的综合解决方案，并提供持续而良好的售后服务，由此也获得了广大用户的信任和认可。
　　
　　铂悦仪器的总公司设立在上海，并在北京、广州、成都、武汉、青岛、西安、沈阳、厦门、香港、加拿大设立了办事处，在能及时引进*进技术的同时，保证了铂悦仪器能快速、有效的为全国各地的客户提供良好的服务。

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产品描述：连续式四探针片电阻及光学膜厚测量设备设计, 片电阻不受针尖距离影响多种型号以供选择

连续式四探针片电阻及光学膜厚测量设备产品详情

连续式四探针片电阻及光学膜厚测量设备设计, 片电阻不受针尖距离影响多种型号以供选择:
自动上下片(Cassette to cassette, C2C)
室温至100°C 的测量(更高可选)
可添加并整合于多腔式的集束型架构设备(cluster tool)

亦可在连续式设备内加入四探针片电阻及光学膜厚测量, 适合薄膜太阳能(铜铟镓硒, CIGS)及平板显示行业

基材尺寸:
450mm晶圆 (样品台旋转)
370 x 470mm 长方形基底 (XY样品台)
连续式设备可以度身订做, 没有尺寸限制
片电阻测量适合金属薄膜、铜铟镓硒、非晶硅(硅)、碲化镉、钼、透明导电薄膜(AlZnO2)、掺杂之后的硅(硅)、硅锗及锗
0.1 – 100,000 单位面积奥姆值 (更高可选)

可整合于连续式(INLINE)的生产线内, 而收集的测量数据可自动送到SCADA系统
光学膜厚测量功能可选
测量光斑<1mm
波长: 380-1050nm
可测量膜厚: 15-50nm, 多可达250nm
短时间重复性: ~0.1nm
长时间重复性:: ~0.1nm

关键词：CAD SCADA SCADA系统

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