蒸锑台倍增级磁控镀膜机-仪表网

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北京中科科美科技股份有限公司是直属企业北京中科科仪股份有限公司的控股子公司，是专门从事真空系统集成产品设计、制造、销售和服务的国家企业，为客户提供真空系统整体解决方案和一站式服务，包括真空集成系统的总体设计、工程实施、设备安装、技术服务等。公司主营业务分为空间环境模拟装置、充气回收检漏系统、新能源真空应用系统和大科学工程真空配套四大类别。公司的客户行业涉及航空航天、新能源（太阳能和核能）、新兴装备制造、科研院所、大科学工程、工业镀膜、汽车制造、电子、低温、超导、电气检测等多个领域。公司拥有*的装备制造实力，通过了ISO质量管理体系和中核供应商体系认证，拥有3项发明及三十余项实用新型，曾参与：神光Ⅲ、北京高能同步辐射光源、特高压苏通GIL综合管廊工程、江门中微子探测等国家大科学工程项目的实施，在真空领域具有国内的技术实力。中科科美致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商，实现与客户的共同成长！

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倍增级磁控镀膜机主要应用于光电倍增管倍增级表面的锑膜镀制。在膜层制备过程中可实现对光电倍增管的倍增级基底进行烘烤除气、离子轰击清洁、膜层沉积和偏电压辅助、膜厚工艺测试等功能，可进行数字化编程、程序控制和动态监测，能够实时显示、记录、统计、计算、保存、输出各种运行数据，达到精确控制膜厚和沉积均匀性的要求。

蒸锑台倍增级磁控镀膜机产品详情

　　性能参数：

　　1)、磁控靶沉积单金属锑;

　　2)、腔体内腔尺寸：Φ600x420;

　　3)、具备偏压清洗及辅助沉积功能;

　　4)、极限真空;5.0x10^-5Pa(从常温、氮气破真空状态下抽限真空度时长≤4小时);

　　5)、工作真空度：工作腔体真空度优于2.0×10^-2Pa(腔体加热至300℃状态下抽至工作真空度时长≤0.5小时);

　　6)、烘烤温度max 300℃，常温状态升温至300℃时长≤20分钟，温度测试精度≤±2℃。

　　7)、工件架：运行平稳，转速可调0.5-5rpm;

　　8)、产能约700件/日;

关键词：镀膜机

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