等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线 路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用 于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
产品特点
u 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。
u PLC控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
u 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制精准。
u 气体返填吹扫，HEPA高效过滤，防止二次污染。
u 316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
u 采用60度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
u 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。
u 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。
u 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
安全保护，舱门打开，自动关闭电源
技术参数
型号 | E系列 | Eplus | F系列 | Fplus | FM | FMplus | ||
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | ||
射频功率 | 10-300W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | ||
匹配器 | 自动匹配器 | 自动匹配器 | 自动匹配器 | |||||
激发方式 | 电容式或电感耦合（ICP） | 电容式或电感耦合（ICP） | 电容式或电感耦合（ICP） | |||||
气体控制 | 单浮子流量计 | 双浮子流量计 | 单路MFC（可选两路） | |||||
舱体尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | |||||
舱体材质 | 不锈钢或石英玻璃 | 不锈钢或石英玻璃 | 不锈钢或石英玻璃 | |||||
舱体容积 | 3.8L | 3.8L | 3.8L | |||||
有效处理尺寸 | L200xW155mm | L200xW155mm | L200xW155mm | |||||
时间设定 | 9999秒 | 9999秒 | 9999秒 | |||||
真空泵 | 抽速4m³/h | 抽速4m³/h | 抽速4m³/h | |||||
气体稳定时间 | 1分钟 | 1分钟 | 1分钟 | |||||
真空度 | 100pa以内 | 100pa以内 | 100pa以内 | |||||
电 源 | AC220V 50/60Hz 766/316W | AC220V 50/60Hz 766/316W | AC220V 50/60Hz 752/302W | |||||
产品尺寸 | L440xW410xH455mm | L440xW410xH455mm | L440xW410xH455mm | |||||
包装尺寸 | L560xW560xH685mm | L560xW560xH685mm | L560xW560xH685mm | |||||
整机重量 | 32kg | 32kg | 32kg | |||||
