扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等腔体内碳氢化合物的清洗。与外厂商电镜配套使用。
产品特点
u 远程离子清洗源
u 一机多用
u 清洗快速高效,低轰击损伤
技术参数
产品型号 | TEM |
等离子电源 | 13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-150W可调 |
远程等离子源,自动匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸Ø180xH100mm |
清洗数量 | 可同时清洗3支TEM样品杆 |
适配品牌 | 美国THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本电子(JEOL) |
气体控制 | 标配单路质量流量计(MFC)可选双路。0-500sccm/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 皮拉尼真空计,测量范围1.0E-5Pa~1E+5Pa |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面 |
真空泵 | 前级泵 |
抽气速率2.5 m³/h | |
分子泵 | |
极限真空:LF<8*10-6Pa,CF<8*10-7Pa | |
分子泵抽速85L/s(N2) | |
入口法兰:DN63 ISO-K(LF)/ CF | |
质量保证 | 二年质保,终身维护 |
电 源 | AC220V、50/60Hz,300W |
产品尺寸 | L565xW505xH560mm |
包装尺寸 | L715xW655xH820mm |