 | 1、X向横梁：采用精密斜梁技术。 2、Y向导轨：采用的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。 3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。 4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳。 5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的位精度 6、 控制系统：采用进口的双计算机三座标专用控制系统 7、 机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。 8、 测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能。 |
| 规格 | 测量范围（㎜） | 外形尺寸（㎜） | 测量精度 | 载 重( Kg) | 整机重量(Kg) | |||||
| X | Y | Z | X | Y | Z | 空间示值误差 MPE E (μm) | 探测误差 MPEP(μm) | |||
| CMFH 575 | 500 | 700 | 500 | 1150 | 1320 | 2570 | 2.2 ﹢ 3L ／ 1000 | 2.5 | 500 | 1500 |
| CMFH 8107 | 800 | 1000 | 700 | 1450 | 1900 | 3000 | 2.5 ﹢ 3L ／ 1000 | 2.8 | 1000 | 2400 |
| CMFH8157 | 1500 | 2400 | 1200 | 3000 | ||||||
| CMFH10128 | 1000 | 1200 | 800 | 1650 | 2100 | 3250 | 3.0 ﹢ 3L ／ 1000 | 3.5 | 1200 | 2900 |
| CMFH10158 | 1500 | 2400 | 1350 | 3300 | ||||||
| CMFH10208 | 2000 | 2900 | 1500 | 4200 | ||||||
| CMFH12158 | 1200 | 1500 | 800 | 1850 | 2400 | 3250 | 3.8 ﹢ L ／ 250 | 4.2 | 1400 | 3800 |
| CMFH12208 | 2000 | 2900 | 1600 | 4500 | ||||||
| CMFH101510 | 1000 | 1500 | 1000 | 1650 | 2400 | 3700 | 3.8 ﹢ L ／ 250 | 4.2 | 1350 | 3500 |
| CMFH102010 | 2000 | 1500 | 4300 | |||||||
