OptiCentric® 300/600——高精度校准、组装和大型镜头的最终检验
OptiCentric® 300/600 Ultra Precision设备,将该仪器的优点转移到大型,重透镜组件的测量上,其重达1200kg,直径800mm,该系列在花岗岩基础上的设计为您提供了刚性和热稳定性,所以即使缓慢的固化胶粘合,也能实现很高的精度。 | ![]() |
关键特点
测量大型透镜,重达1200kg,直径达800mm,高达1500mm;
花岗岩的结构提供了刚性和热稳定性;
带编码器的线性空气轴承,精确的定位在测量头上;
用自准直仪的测量头,透镜中心的高精密的测量;
可交换的透明几乎是无限的测量范围,不需要测量头的不方便长时间运动;
反射和透射的测量;
大范围的软件选项:多镜头,AspheroCheck UP,SmartAlign;
可选中心厚度测量精度可达0.15μm;
集成的配件,如工作台、测量导轨、胶水分配器、紫外照明;
的软件控制着OptiCentric®整个系统;
应用
在显微光刻法、空间和其他行业中的大型光学仪器。 用MultiLens软件模块测量光学系统的中心; 测量光轴,相对与机械轴; 测量EFL、BFL、FFL、轴上MTF(OptiSpheric®升级); 通过使用低相干干涉仪测量空气间隔和中心厚度(OptiCentric® 3D 升级); 表面半径测量; 球面、非球面、圆柱透镜的测量; 红外透镜的测量(OptiCentric®UltraPrecision的配置取决于透镜材料和应用); | ![]() |
OptiCentric®软件——比较全面的中心偏差测量软件
OptiCentric®系统的用户通过OptiCentric® 软件控制整个测量过程,所有的组件、升级、测量和分析程序都集成到软件程序中,这样用户可以轻松、快速、高精度的测量。 | |
主要优势
实时显示测量值/中心偏差实时测量;
反射和投射测量取决于OptiCentric®系统;
各阶段的协调控制和分析;
所有集成传感器的数据采集和分析;
自动对焦;
测量目标,非球面透镜和柱状透镜的方法;
用于测量目标的多镜头选项;
中心偏差计算和用户的机械或者光学参考轴的对齐方式;
数据导入和导出;
通过/失败的指标;
OptiCentric® 300 UltraPrecision | OptiCentric® 600 UltraPrecision | OptiCentric® 800 UltraPrecision | |
精度在VIS范围内 | 0.1µm | 0.1µm | 0.1µm |
样品直径 | 400mm | 700mm | 800mm |
空气轴承 | Ø300mm | Ø600mm | Ø800mm |
样品高度 | 1000mm(其他要求) | 1500mm(其他要求) | 1500mm(其他要求) |
样品重量(MAX) | 450kg | 900kg | 1200kg |
VIS光谱范围的测量 | 上光路:自准直仪焦距500mm ; 下光路:自准直仪焦距300mm | 上光路:自准直仪焦距500mm; 下光路:自准直仪焦距300mm | 上光路:自准直仪焦距500mm;下光路:自准直仪焦距300mm |
光源 | 高功率绿色LED光源 | 高功率绿色LED光源 | 高功率绿色LED光源 |
OptiCentric®升级和配件
OptiCentric®系统是模块化的,可以通过升级和附件进行扩展,以便在测量中心偏差、校准透镜和固化消色时扩大其应用范围;
更新和升级
OptiCentric®升级
除了对中之外,OptiCentric®更新还可以测量有效焦距、后焦距、法兰焦距、曲率半径和轴上MTF;
MultiLens更新
MultiLens是衡量和调整目标的更新软件。物镜每个表面的中心误差和系统的中心测量都是非破坏性的。
SmartAlign升级
利用获得的SmartAlign算法(可作为OptiCentric®软件的更新版本),分析测量中心误差相对于用户定义的光轴货机械轴位置,这个工具在“OptiCentric® for Production系列”中的使用比较成功。
升级到OptiCentric® 3D
为了测量物镜内的中心厚度和空气间隔,低相干干涉仪OptiCentric®可以集成到OptiCentric®系统中。
双胶合的固井升级
每个配备有空气轴承的OptiCentric®系统都进行升级,以实现镜片的高精度定位和固定。因此,投入新系统是必要的。 | ![]() |
CylinderCheck升级
通过CylinderCheck升级,可以确定圆柱轴的中心和圆柱形透镜的楔形。 | ![]() |
升级为测试红外光学
对于已安装的红外光学系统的质量控制,可视范围内的测量头与用红外线工作的测量头交换。 | ![]() |
AspheroCheck升级
AspheroCheck升级使用高精度光学距离传感器来测量非球面相对于给定参考轴和斜率和位置。 | ![]() |
OptiAngle®升级
此次升级将OptiAngle®系统转变为平面光学角度测量的工具。 原则上,OptiCentric®系列的所有设备都可以集成到工作站中。配件、个人电脑和各种控制器可以安装和存储在特别设计的理念,因此,使我们的设备日常工作变得更容易,同时提高效率。 | ![]() |
饰品
扩展附件组件,简化OptiCentric®系统的应用。
带有吸附装置的旋转装置
带有真空装置旋的是一个旋转装置,以外边缘为基准来测量单个透镜的对中误差。使用电机驱动的摩擦轮将镜头转到V棱镜上。镜头通过真空保持在适当位置。所以功能的控制,如压力、旋转和真空泵集成在一个控制单元,压缩空气管系统不是必需的。
倾斜表(TRT)
OptiCentric®系统使用倾斜表对齐样本。倾斜台的分离运动可以精确定位样品货样品架。针对各种应用和测量系统,倾斜工作台有不同的直径。 | ![]() |
扩展测量范围
头戴式镜头可将OptiCentric®系统的测量范围的曲率半径和焦距扩展到±2000mm以上。这意味着OptiCentric®系统比没有头戴式的系统灵活的多。
编码器升级
线性编码器升级为高分辨率。
塔台
建议使用转台快速轻松的更换头部镜头。OptiCentric®提供了一个手动4X换盘机和一个电动控制的6X换盘机。 | ![]() |
探头和线性标尺
所有传感器和线性标尺都集成到系统中,并使用软件进行分析,镜头或底座的边缘由光学或触觉传感器测量,并用于确定镜头或底座的对称轴,然后软件检查对称轴和光轴现对于彼此的位置。线性标尺是镜片半径测量所必需的。 | ![]() |
光源
大多数OptiCentric®系统都有标准的照明接口,因此可以使用不用的光源(大功率LED、冷光源)。
对其集
一组具有两个高精度的平面平行板(直径25mm和50mm)和两个玻璃珠(直径4mm…12mm和14mm…28mm)可供校准样品货直接对准样品固定件和外壳。
参考楔
参考楔块用于检查OptiCentric®系统的测量精度,他们符合国际标准。
OptiCentric®参考物镜
结合OptiCentric® 3D更新,建议使用量块,通过该量块可以检查空气间隔和中心厚度测量的准确性,量块符合国际标准。
真空夹头
由于大量独立的镜片设计,几乎不可能所有镜头使用标准夹具。因此各种各样尺寸的夹盘都比较适合许多常见透镜几何结构。真空夹盘的设计保持简单和成本低廉,所有原则上它们可以单独使用且不用太多成本。