 | 1、计算机程序控制照明系统，使工件表面照明均匀，提高了测量的高精度和可靠性。 2、多种LED冷光源系统：可提供四相限环形顶光源、同轴光底光源。 3、测量精度：高精度的SONY彩色CCD摄像机、光学透镜及LED同步底光源的光路的同轴性都精确校准对。 4、Z轴精度：中心驱动Z轴，自动聚焦功能，为光学影像系统和RENISHAW接触式提供了精确的快速测量。 5、工作台：采用花岗岩的机座，带平板玻璃可移动的高刚性、表面阳极化的双层十字特种金属工作台。 6、导轨方式：采用进口的具有耐磨性的特种钢制成的高精度直线导轨，保证了轴向直线度和垂直度。 7、驱动系统：采用高载荷的4V无牙精密丝杠传动装置（技术）和DC伺服马达，确保了系统运动快捷、准确。 8、Z轴：采用平衡装置，提高了Z轴的定位精度及稳定性。 |
| 规格 | 测量范围（mm） | 外形尺寸（㎜） | 测量精度（ μm ） | |||||
| X | Y | Z | X | Y | Z | XY ：平面示值误差 | Z ：单轴示值误差 | |
| CCS322 | 300 | 200 | 200 | 800 | 500 | 1650 | E1 ≤ 2.0+L/200 E2 ≤ 2.5+L/200 | E1 ≤ 2.0+L/150 （用接触式测头） |
| CCSH322 | 300 | 200 | 200 | 800 | 500 | 1650 | E1 ≤ 1.5+L/250 E2 ≤ 2.0+L/200 | E1 ≤ 2.0+L/200 （用接触式测头） |
| CCS543 | 500 | 400 | 300 | 1040 | 1270 | 1820 | E1 ≤ 2.5+L/200 E2 ≤ 3.0+L/200 | E1 ≤ 2.0+L/150 （用接触式测头） |
| CCSH543 | 500 | 400 | 300 | 1040 | 1270 | 1820 | E1 ≤ 2.0+L/250 E2 ≤ 2.5+L/200 | E1 ≤ 1.5+L/200 （用接触式测头 |
