LHCPS-4K型高性能闭循环制冷机探针台特点 ：
无制冷剂操作 ，无需消耗液氦或液氮
降温控温无需人员值守
低温选件丰富
样品处于真空环境
可定制以适应8英寸晶圆样品台
LHCPS-4K为实现多功能和高性能设计，是性能、无需消耗制冷剂的低温闭循环制冷机探针台。 该系统为寻求便利低温测量和无需消耗制冷剂提供了一个优良的解决方案。 通过使用一个闭循环GM制冷机，通过闭循环减压降温提供冷源，探针台可以在无人协助的情况下将温度降至温，从而减少了研究人员不必要的时间浪费，把主要精力集中在样品测量测试上。 LHCPS-4K上的各种选件和配置使研究人员能够进行严格的、具有挑战性的测试测量。 LHCPS-4K提供了蓝海科仪的低温性能，其配置可使样品温度低至4K。 多个温度传感器分布在探针台上，确保温度准确重复测量。 两级制冷平台制冷机允许样品在冷却期间保持在较高的温度，降低冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。LHCPS-4K样品台设计可安装测量2英寸晶圆，通过选择大直径样品台，可实现4英寸晶圆测量，同时可接受定制8英寸样品台。
样品托
接地样品托
直接安装在样品台，尽量减小对样品的温度梯度，与整个探针台电器接通
同轴样品托
样品托表面与探针台整体电器绝缘，通过BNC接口穿过真空室
三同轴样品托
在同轴样品托的基础上增加GUARD层，层与层之间电器绝缘，提供保护电压层，减小漏电流
光学样品托
在以上任何一种样品托的中心增加一个直径6毫米的通光孔
磁场样品托
磁场样品托提供了一种低成本便捷的磁场测试环境，样品托安装在样品台上，和探针台整体供地。磁场样品托一套包括四种磁场产生环和一个安装托。
根据不同的磁场需求，选择使用不同的磁场产生环。四个磁场产生环分别能产生0.2T、0.18T、0.15T、0.1T磁场。
样品托配置
注：其它尺寸样品托接受定制
类型 接口 尺寸 设备包括 接地样品托 无
φ32mm(1.25in) 选件
接地样品托 φ32mm(1.25in)
同轴样品托 BNC φ51mm(2in)
三同轴样品托 TRIAX φ51mm(2in)
磁场样品托 无
φ17mm(0.68in)
选件-光学
接地样品托-光学 φ32mm(1.25in)
同轴样品托-光学 BNC φ51mm(2in)
三同轴样品托-光学 TRIAX φ51mm(2in)
样品托性能
电绝缘 温差 温度 接地样品托 导通 0.1K-0.2K 500K 同轴样品托 ＞100MΩ ≈1K 400K 三同轴样品托 ＞100GΩ ≈1K-2K 400K 1.电绝缘测试是在100V电压情况下，测量导电面之间的电阻
2.温差是样品托表面和样品台之间存在的温差。样品的热接触好坏以及样品大小，都会对温差产生影响，热接触不充分样品负载大，会增加温差。
接口BNC 同轴样品托-配2耳BNC真空接口以极低温同轴线缆 TRIAX 三同轴样品托-配3耳三同轴真空接口以及低温同轴线
探针臂配置
标准的微操作针臂，能安装各种类型的探针，满足绝大部分科研需求，实现直流、射频、微博以及光学测量
灵活容易扩展的探针集合
微操作针臂可以在全温区、真空环境、磁场环境下使用
可以配置在蓝海科仪任意款探针台上
磁场探针台中更换成无磁材料针臂
每个针臂上安装一个标准温度传感器，可以接受定制传感器类型
探针配置及用途
通用DC 小信号低噪声DC测量高阻DC 高阻抗低漏电流测量 RF-1GHz KHz和MHz级别的测量，测量带宽高达1GHz。可以升级到RF/微波-40GHz测量，需要购买一个GSG探针 RF/微波-40GHz 可实现高达40GHz的测量，同时也能实现兼容DC测量 RF/微波-67GHz
可实现高达67GHz的测量，同时也能实现兼容DC测量 光纤探针 给样品通光或者从样品采集光
探针硬件配置
接口 探针 内部线 水平角度 定制 通用DC
2耳BNC SMA低温探针 微型低温同轴线，屏蔽层接地 无 探针针尖和直径 高阻DC 3耳triaxial SMA低温探针
微型低温同轴线，屏蔽层接三同轴GUARD 无 探针针尖和直径
RF-1GHz
2.92mm(K型连接器) SMA低温探针
2.92mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地 无 探针针尖和直径
RF/微波-40GHz
2.92mm(K型连接器)
40G-GSG探针 2.92mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地
±5° GSG针尖距离 RF/微波-67GHz
1.85mm(Z型连接器)
67G-GSG探针 1.85mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地
±5°
GSG针尖距离
光纤探针
FC/APC或SMA905 无 光纤 ±5°
类型、波长、入射角
探针性能
注：绝缘电阻在100V电压下测量得到
使用频率 绝缘电阻 电容 阻抗 反射 传输 通用DC
DC-50Hz ＞100MΩ ＜100pF 50Ω 无 无 高阻DC
DC-50Hz
＞100GΩ
＜100pF
无 无 无 RF-1GHz
DC-1GHz
＞10MΩ
未测量 50Ω
＜-20dB
＜±1dB
RF/微波-40GHz
DC-40GHz
＞1MΩ
未测量
50Ω ＜-20dB
＜±1dB
RF/微波-67GHz
DC-67GHz
＞1MΩ
未测量
50Ω ＜-20dB
＜±1dB
光纤探针
无 无 无 无 无
探针定位
X轴 Y周 Z轴 行程 51mm(2 in) 25mm(1 in) 25mm(1 in) 精度 20μm 10μm 10μm
SMA低温专用探针蓝海科仪为低温探针台设计专用探针，探针具有强大的通用性，能实现直流偏置、低/高频测量、低噪声屏蔽和低漏电流测量。SMA低温探针主体由陶瓷或者FR4制作，低温焊料焊接SMA接口，50欧姆阻抗传输线，可配置钨、P7或者铍铜探针。具有无氧铜热沉带，热沉到样品台。
型号 材料 针尖直径（μm） SMA-05D-01-W 钨
1 SMA-05D-05-W
5 SMA-05D-10-W
10 SMA-05D-20-W
20 SMA-05D-100-W
100 SMA-05D-01-BC
铍铜
1 SMA-05D-05-BC
5 SMA-05D-10-BC
10 SMA-05D-20-BC
20 SMA-05D-100-BC
100 SMA-05D-01-P7
paliney 7合金
1 SMA-05D-05-P7
5 SMA-05D-10-P7
10 SMA-05D-20-P7
20 SMA-05D-100-P7
100
针尖材料 描述 应用 导电性 接触电阻 寿命 钨（W） 常用，耐用 适用各种样品表面，能穿透氧化层 好 低 最长 铍铜（BC） 常用，接触电阻小 沉金焊盘pad 更好 更低 长 paliney 7合金(P7)
专用，接触电阻小 更加精密的焊盘pad 长
LHCPS-4K技术参数
样品冷却集合
类型： 二级制冷平台（样品台和防辐射屏）
防辐射屏：环绕在样品台周围，安装在制冷机一级制冷平台上
冷源：二级制冷闭循环制冷机，1.2W@4.2K
磁场：磁场套装，垂直样品磁场
温度
温度 控温范围 配置 4K 4.5K-350K 2套探针臂 5K 5.5K-350K
4套探针臂 5.5K 6K-350K
6套探针臂 20K 20K-675K
高温选件
控温稳定性样品台温度
稳定性 温度，不控制 未测量 ＜10K ±100mK 10K-100K ±50mK 101K-250K ±50mK
251K-350K ±70mK
351K-675K ±100mK
抽空时间抽空时间
30 min＜1x10-1Pa 室温 ＜5x10-3Pa
温度 ＜1x10-4Pa
温度 ＜1x10-4Pa
循环时间一次循环时间 4h
抽空时间： 0.5h
降温时间: 2.0h
升温时间: 1.5h
样品台振动： ＜1μm 可定制＜100nm
样品
样品： φ51mm （2 in）
样品背光： 无
样品旋转： 无 注：可定制旋转，温度受影响
探针配置
最多数量： 6
探针传感器： 包括
探针安装托温度： ＜20K 样品台在温度
探针装配： 螺丝固定 热沉到样品台
探针臂： 热沉到防辐射屏
SMA低温探针： 电绝缘＞100GΩ 适合低漏电流测量
微波探针： 选配 高达67GHz射频测量
光纤探针： 选配 光电测量
制冷剂消耗
室温到温 不需要
氦@5K 不需要
温控配置
样品台传感器加热器： 硅二极管温度传感器 单头100W加热器
防辐射屏传感器加热器： 硅二极管温度传感器 单头50W加热器
制冷机二级冷头传感器加热器： 无 可以选装硅二极管温度传感器 单头100W加热器
制冷机一级冷头传感器加热器： 无 可以选装硅二极管温度传感器 单头100W加热器
探针臂： 安装 硅二极管温度传感器（在其中一个探针臂）
温度控制器： cryocon26C
样品托： 可拆卸51mm三同轴样品托
占地面积： 长宽高700*700*900mm 不包括压缩机和水冷机
真空腔体
材料： 铝合金本色氧化 可选不锈钢
总尺寸： 外径220毫米 高150毫米
内部尺寸： 直径190毫米
观察窗： 直径80毫米 材料熔融石英
可视范围： 直径65毫米
泵抽口： KF25 配旋塞阀
真空计接口： KF25 可选KF16
进气口： 标配直径6.35管配阀门，可选其它接口
泄压阀： 3.5KPa(0.5psi)
防辐射屏
材料： 无氧铜镀金 可选铝电镀镍
空间直径： 150毫米
可视口： 50毫米 红外吸收窗口
水电要求：
单项电： 220VAC 50Hz
单项总功率： 2KVA
三相电： 380VAC 50Hz
三相电总功率： ＞8KW
冷却水要求： ＞8KW
水冷机要求： 制冷功率＞8KW，出水压力2-4KG/c㎡ 水冷机可以选配，本探针台不包括水冷机，水冷机需要三项电功率＞5KW
