产品介绍
AccuFiz干涉仪特别设计为实现样品表面中高频率特征测试的高分辨菲索干涉仪，光学系统优化设计，实现了高传函，低噪声；同时AccuFiz干涉仪借鉴了4D公司在动态相移干涉技术上的成功经验，沿用其核心算法，采用动态载波相移技术，可在气流扰动和振动条件下实现高精度测量，这一技术使得AccuFiz可以解决大部分的动态测量问题。
AccuFiz干涉仪是一款紧凑、轻巧的菲索干涉仪，可以满足多样的测量需求。
常规属性
系统结构：菲索型干涉仪
采集模式：机械相移式，动态载波相移式
工作波段：1550nm（SWIR）稳频激光器
光 源：光源尺寸连续可调，降低相干噪声
光束口径：标准4英寸；其他定制
相机像素：500 x 500 pixels，12bit；>30帧/秒 显示
变倍：1-10X Smart ZoomTM
外形尺寸：4英寸： 51.4 x 23.8 x 20.3 cm
重量：4英寸：13.6kg
系统性能
RMS重复性：<0.0001 waves RMS*
RMS精密度：0.001 waves RMS*
样品反射率：1-99%（需衰减）
*采用10个数据RMS值的1σ方差作为结果；每个数据是16次测试的平均
**采用10个数据，每个数据是16次测试的平均；以这10个数据的平均值作为参考值；以每一个数据与参考值的差来计算RMS平均作为结果
