技术参数：
| 型号 | Excel1651UM/UC | Excel1652UM/UC | Excel200U | Excel250U |
| 量测行程 | 1250x1650x160mm | 1250x1650x250mm | 1250x2000x200mm | 1600x2500x200mm |
| 外形尺寸 | 1886x2600x1650mm | 1886x2600x1850mm | 1886x3084x1737mm | 2252x3794x1737mm |
| 重量 | 3,600kg | 3,650kg | 3,740kg | 6,800kg |
| 承载重量 | 100kg | |||
| 平台材质 | 钢构 | |||
| 平台设计 | 龙门式 | |||
| 基座材质 | 花岗岩 | |||
| XY 精度 | 4.0+L/300μm | 4.5+L/300μm | 5.5+L/300μm | 5.5+L/300μm |
| Z 精度 | 2.8+L/150μm | 3.0+L/150μm | 3.0+L/150μm | 3.0+L/150μm |
| 加速度 | 1000mm/s2(XY), 500mm/s2(Z) | |||
| 速度 | 500mm/s(XY), 500mm/s(Z) | |||
| 光学尺分辨率 | 0.1μm | |||
| 影像 | 高分辨率彩色或黑白系统 | |||
| 表面光, 轮廓光,同轴光光源 | 红光LED (黑白系统) 白光LED(彩色系统) | |||
| 光学系统/放大倍率 | 12:1光学 Zoom/15x-540x or 30x-1080x放大倍率 | |||
| 软件 | InSpec Metrology Software | |||
| 电控系统 | 伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆 | |||
| 工作环境 | 20℃±2°,30-80% 湿度 | |||
| 电源系统 | 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp | |||
