SMC-流量传感器
・重复精度±2％F.S.。
・响应速度5ms以下，耐压500kPa。
・无润滑脂、符合RoHS。
・电压显示器 一台可对应全范围。
・相关元件：真空过滤器 ZFC050系列。
| 型号 | PFMV505 | PFMV510 | PFMV530 | PFMV505F | PFMV510F | PFMV530F | |
| 适用流体 | 干燥空气、 N2(空气的品质等级为JIS B 8392-11.1.2~1.6.2 ∶2003) | ||||||
| 额定流量范围(流量范围) | 0~0.5(l/min) | 0~1(l/min) | 0~3(l/min) | −0.5~0.5(l/min) | −1~1(l/min) | −3~3(l/min) | |
| 精度 | 士5%F.S. 以下 | ||||||
| 重复精度 | 士2%F.S. 以下 | ||||||
| 压力特性(0kPa基准) | 士2%F.S. 以下(0~300kPa) 士5%F.S. 以下(−70~0kPa) | ||||||
| 温度特性(25℃基准) | 士2%F.S. 以下(15~35℃) 士5%F.S. 以下(0~50℃) | ||||||
| 额定压力范围 | −70kPa~300kPa | ||||||
| 使用压力范围 | −100kPa~400kPa | ||||||
| 耐压力 | 500kPa | ||||||
| 模拟输出(非线性输出) | 输出电压:1~5V、输出电阻:约1kΩ | ||||||
| 响应时间 | 5ms以下(90%反应) | ||||||
| 电源电压 | DC12~24V士10% 、波动 (p-p)10%以下(带逆接保护) | ||||||
| 消耗电流 | 16mA以下 | ||||||
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耐环境 | 保护结构 | IP40 | |||||
| 使用流体温度 | 0~50℃ (无结冰及结露现象) | ||||||
| 使用温度范围 | 0~50℃ (无结冰及结露现象) | ||||||
| 保存温度范围 | −10~60℃ (无结冰及结露现象) | ||||||
| 使用湿度范围 | 35~85%R.H.(无结露现象) | ||||||
| 保存湿度范围 | 35~85%R.H.(无结露现象) | ||||||
| 耐电压 | AC1000V 、1分钟ā整个充电部与框架之间 | ||||||
| 绝缘电阻 | 50MΩ以上( 以DC500V兆欧表) 整个充电部与框架之间 | ||||||
| 耐振动 | 10~150Hz、复振幅1.5mm、98m/s2、XYZ各方向2小时(未通电) | ||||||
| 耐冲击 | 980m/s2 X 、Y 、Z方向ā各3次(未通电) | ||||||
| 接管口径 | M5×0.8(紧固力矩∶1~1.5N．m) | ||||||
| 接流体部材质 | PPS 、 Si 、Au 、 SUS316 、 C3604(无电解镀镍) | ||||||
| 导线 | 3芯乙烯树脂橡皮绝缘软电缆ø2.6, 0.15mm2, 2m | ||||||
| 质量 | 10g(不含导线) | ||||||
