按照近十多年在这一领域的经验，我们采用液环＋气冷罗茨真空泵＋带旁通阀罗茨真空泵＋带旁通阀罗茨真空泵的四级机组是解决此工况的办法。当然有些单位可能前级泵也推荐气冷罗茨真空泵，在使用上肯定没有问题，但是气冷罗茨泵在作为前级泵使用时由于它的压差达几百毫巴，噪声和振动大，噪声比液环泵大20分贝以上，而且在大气到400mbar之间的抽气效率下降明显，而液环泵在大气到400mbar之间是恒定抽速，所以我们推荐液环泵做前级泵。
由于系统内排出的气体含有一定粉尘，那么选择气冷罗茨真空泵和液环泵组成的多级机组是，罗茨泵是一种无油、转子和泵体及转子和转子等均不接触的，这样粉尘对泵的运动部件不会构成损害，而且几乎没有油耗，所以使用。液环泵采用水(或油)作为循环工作液，粉尘对水环泵的性能不构成影响。
按照近十多年在这一领域的经验，我们采用液环＋气冷罗茨真空泵＋带旁通阀罗茨真空泵＋带旁通阀罗茨真空泵的四级机组是解决此工况的办法。当然有些单位可能前级泵也推荐气冷罗茨真空泵，在使用上肯定没有问题，但是气冷罗茨泵在作为前级泵使用时由于它的压差达几百毫巴，噪声和振动大，噪声比液环泵大20分贝以上，而且在大气到400mbar之间的抽气效率下降明显，而液环泵在大气到400mbar之间是恒定抽速，所以我们推荐液环泵做前级泵。
由于系统内排出的气体含有一定粉尘，那么选择气冷罗茨真空泵和液环泵组成的多级机组是，罗茨泵是一种无油、转子和泵体及转子和转子等均不接触的，这样粉尘对泵的运动部件不会构成损害，而且几乎没有油耗，所以使用。液环泵采用水(或油)作为循环工作液，粉尘对水环泵的性能不构成影响。
按照近十多年在这一领域的经验，我们采用液环＋气冷罗茨真空泵＋带旁通阀罗茨真空泵＋带旁通阀罗茨真空泵的四级机组是解决此工况的办法。当然有些单位可能前级泵也推荐气冷罗茨真空泵，在使用上肯定没有问题，但是气冷罗茨泵在作为前级泵使用时由于它的压差达几百毫巴，噪声和振动大，噪声比液环泵大20分贝以上，而且在大气到400mbar之间的抽气效率下降明显，而液环泵在大气到400mbar之间是恒定抽速，所以我们推荐液环泵做前级泵。
由于系统内排出的气体含有一定粉尘，那么选择气冷罗茨真空泵和液环泵组成的多级机组是，罗茨泵是一种无油、转子和泵体及转子和转子等均不接触的，这样粉尘对泵的运动部件不会构成损害，而且几乎没有油耗，所以使用。液环泵采用水(或油)作为循环工作液，粉尘对水环泵的性能不构成影响。
