分析原理
仪器根据法拉第电解原理，用涂敷了磷酸的螺旋两电极（铂或铑）形成一个电解池，当被测气体通过电解池后，在两电极间施加电压，水份被电解为H2和O2，被测气体中水份含量与电解后的水份之间建立平衡，电解电流的大小与被测气体中的含水量成正比。因此，通过电流的测定，便可得知水份的含量。整个过程中的水份被P2O5吸收，生成磷酸，并被电解为H2和O2，此过程的产物是P2O5，P2O5是强吸湿性物质，P2O5得以再生。
可以测量N2、Xe、O2、O3、He、H2、Ar、Kr、D2、F2、CO、CO2、CH4、HBr、PH3、SF6、Freon、C2H2、CH4、R12、R22等，尤其适合高纯酸气如Cl2、HCl、H2S、SO2等诸多气体微量水分测量（与磷酸发生化学反应的气体除外）
应用领域
微量水分仪采用库仑法测量气体中的微量水份，测量范围0~2500 PPMv (自动量程)、可扩展(0~4000)ppm。主要用于测定高纯气中的微量、痕量水份，特别适用于高压气瓶高纯气体的出厂检测。也适用于检测其它不破坏P2O5涂层，不在电极上起聚合反映的各种气体中的微量水份。
常用于测氯气、中微量、痕量水份，多用于多晶硅、氯碱等化工行业中腐蚀性气体检测。
主要特点
1、根据法拉第电解法原理，制造的双螺旋电解池，加上特制配方的涂液，使得电解吸收、响应快；
2、特制的P2O5膜层附着均匀牢固，不流失，使用周期长；
3、测量范围宽（自动量程），高精度，高分辨率；
4、彩色触摸液晶屏，图文式UI智能操作系统，中、英、德文自由切换；
5、智能一键操作，实现快速简易测量；
6、多种参数，多窗口显示，带曲线显示；
7、多种湿度单位显示：PPMv，PPMw，℃，℉，mg/m3，LBS等
8、零点检测采用的测量与控制系统，可以实现零点与数据的快速测量与切换；
9、带气路保护与控制系统，测量结果准确可靠，不受气源压力波动的影响；
10、带温度补偿，消除因为环境温度的变化导致测试数据的准确性；
11、常规气体为一体式机箱，腐蚀性气体为分体式（气路与控制部分分开）；
技术指标
分析仪参数
量 程:0.01～10/100/1000/2500 PPMv (自动量程) ，可扩展(0~4000)ppm
分 辨 率:0.01( PPMv，PPMw，℃，℉，mg/m3, LBS等)
精 度:满量程的±1%
灵 敏 度:满量程的0.01%
显 示 屏:高清触摸彩屏
语言类型:德文、英文、中文
显示方式:多参数、多窗口、带曲线显示
控制方式:图文引导触控式
气路接口:1/8”、1/4”卡套接头(哈氏合金、PVDF、PFA、PTFE根据气体类型配置）
模拟输出:模拟输出4~20mA、0~20mA、0~24mA、0~5V和用户自定义选择(可选)
通信方式:通讯方式USB，RS-485，RS232，带标准MODBUS RTU通讯协议(可选)
数据存储:SD Card扩展，FAT32文件，可选支持32GB，存储数量超1000万条(可选)
软件支持:可选PC软件，可实现数据的导出与记录功能，带Excel、Pdf输出，带打印功能
电气接头:瑞士LEMO快插自锁接头，带防尘与防水
报警输出:2路高、低可编程继电器输出
触点容量：250VAC/5A、30VDC/5A（阻性负载）
环境温度:(-10～50)℃，湿度：＜80%RH
储存温度:(-10~ 60)℃、(5~40)℃
电 源: 200~260VAC，45~60Hz
尺 寸: 19英寸3U/4U机架式
重 量: 约8Kg
传感器参数
电 极 :铂或铑
测量气室 :不锈钢、玻璃、哈氏合金、PTFE、PVDF、PFA（根据气体类型配置）
密 封 圈 :EPDM、FFKM、FEP、FKM、PTFE、PEEK、VITON
测量流量 :(100±2) mL/min
旁通流量 :(600～800) ml/min
工作压力 :(0~80) Psia ((0~5.5) barg)
精 度 : ±1% FS
响应时间:T50≤6S
样气温度:(0～150）℃ ((0～50）℃，超过需要降温处理)
环境温度:(0～65）℃，湿度：＜85%RH
