主要特点：
- 集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平台，可在 Essence™ 软件的同一个窗口中实现扫描电镜实时成像和成分分析。
- TESCAN 的无机械光阑光路设计及实时电子束追踪技术 (In-flight Beam Tracing™)，可快速获得的成像和分析条件。
- 的大视野光路（Wide Field Optics™）设计，可实现最小放大倍率低至2倍，因而无需额外的光学导航相机，即可轻松、精确的对样品进行导航。
- 直观、模块化的 Essence™ 软件设计，不同经验等级的用户均可轻松操作。
- Essence™ 3D 防碰撞模型，可确保样品台和样品移动时，安装在样品室内探测器的安全性。
- 可选配的真空缓冲节能单元可显著缩短机械泵的运行时间，提供一款环保、高经济效益的电子显微镜。
全新的 TESCAN Essence™ 软件
TESCAN VEGA COMPACT 采用 TESCAN Essence™ 多用户电镜操作软件，具有快速搜索、操作步骤撤销/重做和预设参数等多种快速功能，实现更高效的样品分析工具。软件允许和表征。用户可以根据实际操作水平或特殊应用需求的不同在软件中自定义界面布局，也可以在软件上设定自己的专属界面，只显示满足自身应用需求的功能和图标。这种简化后的布局方式可以更好的帮助接触电镜不久的操作人员轻松掌握扫描电镜成像和能谱分析。
样品台
5轴计算机控制优中心马达驱动样品台
X 及 Y 轴移动行程: 80 (X) x 60 (Y) mm
Z 轴移动行程: 50 mm
倾斜: 计算机控制优中心式, -80° 至 +80°
旋转: 计算机控制优中心式, 360 ° (连续)
样品高度：81 mm
样品尺寸: 145 (X) × 145 (Y) mm
样品重量: 1000 g
软件：
- 测量软件, 公差测量软件
- 图像处理
- 预设参数
- 直方图及LUT
- SharkSEM™ 基础版 (远程控制)
- 3D 防碰撞模型软件
- 对象区域
- 光电联用
- 定时关机
- CORAL™（用于生命科学的电镜模块）
- 自动拼图软件
- 样品观察
- TESCAN Flow™ (离线处理软件)
根据实际配置和需求
设备参数：
| 电子枪 | 加热钨灯丝阴极 |
| 电子光学部件 | 中间透镜大视野观察（Wide Field OpticsTM Technology with Intermediate LensTM ）和实时电子束追踪（In-Flight Beam TracingTM ） |
| 分辨率 | 高真空模式：3 nm@30 keV；8 nm@3 keV |
| 视野 | 位于工作距离时＞50 mm |
| 舱室 | LM |
| 标配 | EssenceTM软件、SE探测器；4Q BSE探测器；IR 摄像头 |
| 选配 | SharkSEM软件，可用于与第三方EDS信号连通；EssenceTM EDS；Vacuum Buffer；（仓室上只有6个法兰口， 除SE, 4Q BSE, EDS, CCD，pA meter incl. touch alarm function外，其他探测器均不可选） |
| 五轴样品台 | X 及 Y 轴移动行程: 80 (X) x 60 (Y) mm Z 轴移动行程: 50 mm 倾斜: 计算机控制优中心式, -80° 至 +80° 旋转: 计算机控制优中心式, 360 ° (连续) 样品高度：81 mm 样品尺寸: 145 (X) × 145 (Y) mm 样品重量: 1000 g |
