特点 | 优点 |
微型体积设计 | 能安放在制程工具或紧凑空间内 |
自我平衡技术 | 无需调校也能保持离子平衡 |
电源显示LED | 显示电源输入正常 |
保养简单 | 只需定期清扫静电针尖 |
■ 产品规格
产品型号 | HZR MINI-A/N |
输入电压 | DC12V |
工作电流 | 30 mA (隔离的) |
电离技术 | 脉冲直流电离 |
离子平衡 | MINI-N :< ± 30 V@ (7.6 cm 距离); |
MINI-A :< ± 20 V: | |
@ (15.2 cm 距离,0.02 m /min风量) | |
耗散时间 | MINI-N:< 10 秒 @ (7.6 cm 距离) |
MINI-A:< 8 秒 | |
@ (15.2 cm 距离,0.02 m /min风量) | |
输入气源 | CDA洁净空气, |
风量输出 | MINI-A:0.01-0.03 m /min @ 0.3-2.1 bar 输入气压 |
覆盖范围 | MINI-N 15*15cm@7.6cm距离 MINI-A 15*15cm@15cm距离 |
环境气流 | 1.0m/s (建议最小) |
臭氧产生 | < 0.05 ppm |
EMI | 低于背景水平,建议最短使用距离5cm |
符合洁净度 | ISO 14644-1 Class 5 |
放电针材质 | 不锈钢 |
机壳 | ABS |
操作环境 | 温度0-40°C ;30-70% RH (无冷凝) |
尺寸 | 5.2 x 4.1 x 1.65 cm,上下有 6 mm 边框 |
MINI-A 有 1 cm 长的气管接口 | |
重量 | MINI-N:0.016 kg |
MINI-A:0.019 kg |
■ 测试方法
测试偏置电压和消散时间两个性能参数。
出厂测试方法:
1 仪器设备名称:本公司采用ME-288B充电平板测试仪 (CPM)。
2 测试仪器需接地良好,所测离子风机需接地良好。
3 静电消除器对准平板测试仪中心,按照以下距离测试:
Ø MINI-N:76 mm距离
Ø MINI-A:152 mm距离
现场测试方法:
1. 现场测试时,仪器的测试平板需放置在ESD敏感元器件实际被操作的位置。
2.具体测试方法,以不同测试仪器说明书为准。