光刻胶低温存储高低温一体机

光刻胶低温存储高低温一体机专为半导体光刻胶研发的高精度温控设备，通过 -20℃~200℃宽温域精准控温实现光刻胶存储、运输及使用前处理的全流程温度稳定控制。可将光刻胶存储期间的粘度波动控制在 ±2% 以内，溶剂挥发率降低至≤0.5%，助力晶圆厂、光刻胶供应商及实验室实现材料寿命延长 30%、工艺稳定性提升 25% 的目标。

应用场景

1. 晶圆厂材料存储与管理

   核心需求：原材料入厂检测与生产过程质量控制。

   设备价值：

• 寿命延长：某晶圆厂通过 5℃±0.1℃恒温存储，将光刻胶保质期从 12 个月延长至 18 个月，年材料成本降低 200 万元。

• 工艺稳定：湿度控制在 40%±2%，某产线的套印精度从 ±0.12mm 提升至 ±0.05mm，良率提高 9%。

2. 光刻胶供应商质量管控

   核心需求：出厂检测与运输过程监控。

3. 设备价值：

• 快速筛选：某供应商通过 - 15℃低温存储测试，筛选出粘度稳定性提升 30% 的光刻胶，客户投诉率降低 70%。

• 运输保障：磁悬浮减震设计使运输损耗从 3% 降至 0.8%，某物流企业年运输成本节省 15%。