在线质谱气体分析系统
BSD-MASS 在线质谱气体分析系统（美国英福康 INFICON）
Oline Mass spectrometer Gas Analyzer
四极杆质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（原产地：美国，提供原产地证明和原厂校验证书）；
质谱检测器：法拉第杯Faraday Cup (FC)和电子倍增器Electron Multiplier (EM)；
质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu；
灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换；
采样压力：默认100±10kpa，其它采样压力需定制；
气体采样流量：默认5SCCM，低可0.2SCCM的超微采样量；
响应速度：可在低＜5SCCM的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应时间＜1秒；（脱离采样量的响应时间没有价值）
分辨率：＜0.5ppm（40amu）；
扫描速度：高可达1.8毫秒/amu；
涡轮分子泵：爱德华，抽速85L/s，极限真空1*10E-12mbar；
干泵：涡旋干泵，抽速20L/S，极限真空1*10E-1mbar；
分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证。
质谱腔体加热烘烤：具有，烘烤温度150℃；
其它功能：
零焊缝真空质谱腔体技术（将传统的4焊缝降低到0焊缝）；
分子泵高真空大流导MAX接口技术（将流导面积增加3倍以上，流导长度缩短5倍以上），从而获得极限灵敏度；
分子泵电流电压监测，质谱腔体温度监测；
采样管线防蒸汽凝结技术；采样口防堵技术；
从左右：英福康中国华北区经理，贝士德仪器总工，英福康美国工厂传感器部门经理、质谱部门经理
技术交流
在线质谱气体分析系统
