V10FD-L低压型MFC/MFM

● 普通低耐压型,适用于1MPa以下非腐蚀性气体                       
● 响应速度100ms,无需预热,上电即可操作
● 无热漂移,长期稳定性0.1%F.S/年
● 数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量
● 内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯
● 内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度

        V10FD-L为模拟和数字兼容型设计：可通过模拟型二次表或PLC

进行设定和显示瞬时流量；也可通过数字接口直接与计算机进行通

讯。具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。
        V10FD-L采用无热漂移,无响应滞后的差压质量流量测量原理。多气

体多量程的设计便于用户现场配置流量计：通过拨码开关可以现场选

择四种测量气体，每种气体有3种校准量程，六个LED指示灯可以

较直观的显示V10FD-L的各种工作状态。如果需要对气体流量进行

控制时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。
        与传统热式气体质量流量控制器/计不同,当使用气体转换系数时,

V10FD-L没有附加的比热容误差,所以,即使测量气体与出厂时的标定

气体不同,也不会影响测量精度。

产品应用                                 

真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化                             
煤炭冶金 制气配气 环保 各种分析仪器

技术参数

技术指标    V10FD-LC质量流量控制器V10FD-LM质量流量计
量程范围    小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM

            大量程:30SLM～250SLM

测控范围    控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度    流量：±1.5%读数±0.2%满量程
            可选±0.8%读数±0.2%满量程
            压力：0.5%F.S 温度：±1℃
线    性    ±0.5%F.S
重复精度    ±0.2%F.S
响应时间    100ms   10ms
数 字 量    RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量    0～5V、4～20mA、1～5V
供    电    24V/±15V可选
工作温度    0～50℃
工作压力    工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa
耐压    1MPa
电气连接    DB15孔
漏 率       1×10-9SCCSHe
温度系数    ±0.015%F.S/℃
底座材质    铝合金或316L不锈钢
密封材料    氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接    头    VCR1/4;swagelokφ6