SmarAct DLS直线纳米位移台-仪表网

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混合驱动线性位移台，扫描范围10μm，行程21mm.

SmarAct DLS直线纳米位移台产品详情

DLS系列直线纳米位移台-混合驱动技术

SmarAct DLS直线纳米位移台插图1

DLS-32系列直线纳米位移台

型号	行程	尺寸	重量
DLS-3232	21 mm	32 x 32 x12 mm³	50 g

压电扫描范围>10μm
阻塞力≥3.5N
垂直负载：500g
Z向使用举力>1.5N
无负载振荡频率>700Hz
扫描截止频率>35Hz

DLS-52系列直线纳米位移台

型号	行程	尺寸	重量
DLS-5252	30 mm	52 x 52 x 15 mm³	150 g

压电扫描范围>35μm
阻塞力≥3.5N
垂直负载：500g
Z向使用举力>1.5N
无负载振荡频率>350Hz
扫描截止频率>10Hz

其他参数及选项

闭环控制
- 速度>20mm/s
- 分辨率(MCS2控制器)：1nm(-S)
材质选项：标准钛座材质，铝座材质(-AL)
真空兼容性：-HV(10^-6 mbar), -UHV(10^-11 mbar)
无磁选项：-NM

关键词：标准

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