美国Tousimis AUTOSAMDRI-915B Series B全自动临界点干燥仪
全自动临界点干燥仪
临界点干燥原理
之所以称为临界点干燥（又称超临界干燥），因为它存在状态的连续性，即介质在液态和气态之间无明显的区别，分界面的表面应力降到零。这种现象具有特定的温度和压力，被称为临界点。零表面应力这种条件可用于干燥生物样品或含水材料样品，避免了表面应力对试样的损坏。
我们在电子显微镜(扫描电镜透射电镜)的生物样品或含水材料样品制备时经常需要进行脱水处理（梯度脱水），但水的临界点为+374℃及3212 psi，很不方便并且容易损坏试样。通常也是非常方便的临界点干燥介质为CO2，它的临界点在+31℃及1072 psi。然而它不容易与水混合，因而必须用第三种介质，通常用乙醇或丙酮作为中间液体。这样在把过渡液体，即CO2 从液体转为气体时，在临界点无表面应力对样品的破坏。
特点和优点
❖ 防静电设计，适合洁净室材料制造应用；通过微处理控制器来实现全自动处理过程
❖ 所有内表面材质耐用于液态二氧化碳、超纯乙醇和丙酮环境
❖ 可重复设定操作参数确保结果的可重复性
❖ LED指示，使每一个程序模式的操作一目了然；集成温度控制系统
❖ 带可视窗口，便于操作者观察腔室内部状态
❖ 0.08μm内部过滤系统输送洁净过滤后的液态CO2到腔室
❖ 预设静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；内置圆盘裂片保证安全
❖ 的腔室填充块可以改变成多种腔室内径，使液态CO2的使用效率和处理时间达到化
❖ 每次运行可处理5 x 6"直径的晶圆，也可一次处理或 5 x 4"、 5 x 3"、5 x 2"直径的晶圆或者 5 x 10mm 方形裸片 (提供可以兼容HF的晶圆/方形裸片样品架，方便运输和处理晶圆和方形裸片)
❖ 高效冷却系统 可以在3分钟内把腔室从室温冷却到到接近0 °C，并在FILL和PURGE模式下自动保持温度
❖ 内置SOTER™ 冷凝器，分离废弃乙醇和二氧化碳，消除任何管路冻结或机体静电，整个过程无噪声
主要技术指标
➢ 工作腔室直径：6.5" I.D.
➢ 压力测量范围：0-2000psi.
➢ 温度测量范围：-30°C to 60°C
➢ 操控方式：全自动按键操控
常规配置
✓ 柔性编织不锈钢耐高压管，用于输送液态CO2
✓ 对于外部钢瓶供应的液态CO2，采用双T型过滤器进行颗粒过滤，截留率为99.5%以上
✓ 配备耐氟样品架，可选不同腔室充填块分别用于干燥直径为6"、4"、3"、2"的晶圆支架和10mm的方形裸片支架，每个支架可最多容纳5个晶圆或方形裸片；配3个腔室填充块，使原腔室内径可减小到6"、4"、3"、2"和 1.25”更小的腔室
✓ 备用腔室O型环密封圈，LED腔室灯和保险丝
注：美国Tousimis产品已有近50年的历史，在中国客户中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超临界干燥仪中国区代理。Tousimis临界点干燥仪产品分为非洁净室版本和洁净室版本两大类，前者常用于电镜制样，后者多用于超净间内的材料研究用途；
非洁净室版本共有7款CPD：
1）Samdri®-PVT-3D常规临界点干燥仪
2）Samdri®-795半自动临界点干燥仪
3）Autosamdri®-815 Series A全自动临界点干燥仪
4）Autosamdri®-815B Series A全自动临界点干燥仪
5）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动临界点干燥仪
6）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动临界点干燥仪
7）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏全自动临界点干燥仪
洁净室版本共有9款CPD：
1）Autosamdri®-815 Series B全自动临界点干燥仪For Die & 1”Wafers
2）Autosamdri®-815B Series B全自动临界点干燥仪For 4”Wafers
3）Automegasamdri®-915B, Series B全自动临界点干燥仪For 6”Wafers
4）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪
5）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪
6）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏多用途全自动临界点干燥仪
7）Autosamdri®-934触摸屏C系列全自动临界点干燥仪For 4”Wafers
8）Automegasamdri®-936触摸屏C系列全自动临界点干燥仪For 6”Wafers
9）Automegasamdri®-938触摸屏C系列全自动临界点干燥仪For 8”Wafers
美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品，凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品，以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆（样品尺寸8英寸，一次同时干燥5片）等材料类样品的临界点干燥。利用CO2临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品，是含水或其它液体的细胞组织等生物样品、半导体等材料样品干燥制样的有效方法；具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。其中，经典的SAMDRI®-PVT-3D和屡获殊荣的Autosamdri®-931高级触摸屏全自动CPD等型号尤其令人瞩目。客户可基于不同的应用选择不同的型号。
