设备特点
•密封可靠且耐腐蚀:采用工业级密封结构,防止气体泄漏,尤其适配危险气体场景;接触气体部件用耐腐蚀材质,延长设备寿命,适配化工、半导体等腐蚀性气体环境。
•装配与适配便捷:装配工艺简单,维护时无需复杂工具;兼容各类气体测量,减少企业重复采购成本。
•低零漂设计:传感器采用对称性结构,受环境干扰更均匀,降低零点偏移,提升低流量测量准确性,避免工艺参数误判。
•多通讯方式兼容:除基础的 RS485、DeviceNet 外,还支持 EtherCAT 主流协议,可灵活对接 PLC、MES 等系统,提升产线自动化水平。
产品应用
•流量规格(氮气):100/200SLM(标准升每分钟),覆盖不同产能场景;
•准确度:流量>35% 满量程时,误差 ±1.0% 设定点;≤35% 满量程时,误差 ±0.35% 满量程,高低流量区间均保精准;
•重复精度:±0.2% 满量程,多次测量偏差小,保障工艺流量稳定,适合半导体薄膜沉积等精密场景;
•响应时间:≤1 秒,快速捕捉流量变化,便于系统及时调整,避免流量失控影响产品质量。




























